[发明专利]一种微米级别精度的多输出液压位置控制系统

权利要求书

1.一种微米级别精度的多输出液压位置控制系统，其特征在于，包括中央控制器(1)、伺服电机驱动器(2)、伺服电机(3)、数字流量阀驱动板(5)、初级大行程液压缸(6)、液压管道(8)、至少一个数字流量阀、至少一个短行程位置输出液压缸、至少一个位置传感器、底座(12)、定位平台(13)；

所述短行程位置输出液压缸设置于所述底座上，所述定位平台固定设置于所述短行程位置输出液压缸的驱动端上，所述位置传感器用于检测所述短行程位置输出液压缸的输出行程，所述短行程位置输出液压缸依次与所述数字流量阀、初级大行程液压缸通过所述液压管道连接，所述数字流量阀驱动板与所述数字流量阀、中央控制器电连接，所述伺服电机驱动器与所述中央控制器、伺服电机电连接，所述伺服电机驱动所述初级大行程液压缸；

所述中央控制器检测所述位置传感器的数据，并输出电信号控制所述伺服电机及所述数字流量阀驱动板，改变所述数字流量阀的输出。

2.根据权利要求1所述的微米级别精度的多输出液压位置控制系统，其特征在于，所述数字流量阀、短行程位置输出液压缸、位置传感器数量为3个或3个以上。

3.根据权利要求2所述的微米级别精度的多输出液压位置控制系统，其特征在于，还包括滚珠丝杆(4)，所述伺服电机通过所述滚珠丝杆驱动所述初级大行程液压缸。

4.根据权利要求2或3所述的微米级别精度的多输出液压位置控制系统，其特征在于，还包括蓄能器(7)，所述蓄能器(7)与所述短行程位置输出液压缸通过管路连接。