[发明专利]X射线测量装置

说明书

本发明能够在不使用捕捉微弱的X射线的特别结构的情况下检测X射线，使后方散射X射线像成像。本发明的X射线测量装置具备：X射线照射部(10)，其对测量对象(2)照射X射线；传感器(20)，其对与在测量对象(2)上反射的后方散射X射线对应的电信号进行检测；测量部(40)，其参照传感器(20)输出的电信号来测量测量对象(20)；以及重金属板(30)，其使后方散射X射线通过，并形成有使后方散射X射线在传感器(20)上成像的针孔(32)。

技术领域

本发明涉及一种X射线测量装置。

背景技术

已知有将X射线照射于测量对象，检测从测量对象反射的后方散射X射线，取得测量对象的透视图像的技术。但是，在通常的X射线源中产生的X射线的指向性较差，因此后方散射X射线非常微弱，不能取得测量对象的透视图像。

与此相对，专利文献1提出了一种使用X射线源的技术，该X射线源周期性地产生具有足够小的发散角的高指向性脉冲X射线。

此外，专利文献2提出了一种技术，即，使在X射线管中产生的X射线通过针孔形成并成为光束状，照射于测量对象，使后方散射X射线通过圆形狭缝入射到X射线检查装置的内周面。

现有技术文献

专利文件

专利文献1：日本公开专利公报“特开2008-2940号公报”(2008年1月10日公开)

专利文献2：日本公开专利公报“特开2001-208795号公报”(2001年8月3日公开)

发明内容

本发明所要解决的技术问题

但是，上述技术是将X射线形成为点光束状并照射于测量对象，捕捉微弱的后方散射X射线。因此，需要一种特殊装置，例如，与照射定时配合仅检测后方散射X射线的装置、设置于X射线管附近的用于形成点光束的准直机构、用点光束扫描对象物的机构、在点光束状的X射线照射部的周边配置多个检测装置的装置等。特别是，存在当X射线管的能量变高时，设置于X射线管附近的准直机构大型化的问题。

本发明的一个方式的目的在于，在不使用捕捉微弱的X射线的特别结构的情况下检测X射线，使后方散射X射线像成像。

解决问题的手段

为了解决上述课题，本发明的一个方式的X射线测量装置具备：X射线照射部，其对测量对象照射X射线；X射线检测部，其检测与在上述测量对象上反射的后方散射X射线对应的电信号；测量部，其参照上述X射线检测部输出的电信号来测量上述测量对象；以及开口部，其使上述后方散射X射线通过，并形成有使上述后方散射X射线在上述X射线检测部上成像的开口。

发明效果

根据本发明的一个方式，能够在不使用捕捉微弱的X射线的特别结构的情况下检测X射线，使后方散射X射线像成像。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的X射线测量装置的概略外观图。

图2表示每个散射角的能量与后方散射X射线的强度的关系。

图3是本发明的第一实施方式的X射线检测部的概略外观图。

图4是本发明的第二实施方式的X射线测量装置的概略外观图。

图5是本发明的第三实施方式的X射线测量装置的概略外观图。

图6是本发明的第四实施方式的X射线测量装置的概略外观图。

图7是本发明的第五实施方式的X射线测量装置的概略外观图。

具体实施方式

〔第一实施方式〕