[发明专利]微机械Z惯性传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201811330025.2 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109761184A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | R·博森德费尔;J·瓦尔德曼;J·莱茵穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02;G01P15/125;G01P15/18;G01P15/097 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机械 惯性传感器 扭转弹簧 弹簧装置 偏转 功能层 正交 制造 敏感 | ||
1.微机械Z惯性传感器(100)，具有：
-构造在微机械功能层(20)中的能运动的MEMS结构(21)；
-与能运动的所述MEMS结构(21)连接的扭转弹簧(22)；和
-与所述扭转弹簧(22)连接的弹簧装置(23,24)，其中，所述弹簧装置(23,24)构造成用于限定地阻止所述扭转弹簧(22)正交于所述MEMS结构(21)的敏感方向地偏转。
2.根据权利要求1所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)的高度约为所述扭转弹簧(22)的高度的三分之一、更优选地约为十分之一。
3.根据权利要求1或2所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)固定在衬底(10)上。
4.根据上述权利要求中任一项所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)至少部分地布置在能运动的所述MEMS结构(21)下方。
5.根据上述权利要求中任一项所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)构造在构造于衬底(10)与所述微机械功能层(20)之间的层(12)中。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)至少部分地构造在所述微机械功能层(20)的上方。
7.根据上述权利要求中任一项所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述扭转弹簧(22)的一个端部与基本构造在所述微机械功能层(20)上方的所述弹簧装置(23,24)的一部分连接，而所述扭转弹簧(22)的另一端部与基本构造在所述微机械功能层(20)下方的所述弹簧装置(23,24)的一部分连接。
8.根据上述权利要求中任一项所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)具有彼此正交地定向的区段。
9.根据权利要求8所述的微机械Z惯性传感器(100)，其特征在于，所述弹簧装置(23,24)的至少一个元件具有加强结构(26)。
10.用于制造微机械Z惯性传感器(100)的方法，具有以下步骤：
-提供构造在微机械功能层(20)中的能运动的MEMS结构(21)；
-提供与能运动的所述MEMS结构连接的扭转弹簧(22)；和
-这样提供与所述扭转弹簧(22)连接的弹簧装置(23,24)，使得限定地阻止所述扭转弹簧(22)正交于所述MEMS结构(21)的敏感方向地偏转。
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