[发明专利]一种微机电换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811326697.6 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109449280B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;王可军;张俊秋;刘林鹏;宋洪烈;陈道兵;孙涛;张斌杰;王大凯;孟宪存 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/25;H01L41/31 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;朱阳波 |
| 地址： | 130012 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微机 电换能器 及其 制备 方法 | ||
1.一种微机电换能器，其特征在于，包括：固化层，所述固化层内设置有若干个裂纹和若干个压敏元件，所述压敏元件位于所述裂纹的尖端应力场中。
2.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，所述压敏元件通过将压电薄膜两侧分别连接电极后封装而成。
3.根据权利要求2所述的微机电换能器，其特征在于，所述压电薄膜采用聚偏氟乙烯、氧化锌、PbTiO3系压电材料、压电晶体或压电陶瓷中的一种或多种制成。
4.根据权利要求2所述的微机电换能器，其特征在于，所述电极通过将电极材料沉积、蒸镀、溅镀或刷涂在所述压电薄膜上制成。
5.根据权利要求4所述的微机电换能器，其特征在于，所述电极材料采用铜、银、钛、金、铝、铟锡氧化物、石墨烯或石墨中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，所述固化层采用环氧树脂、硅氧烷或紫外固化胶中的一种或多种制成。
7.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，所述裂纹的宽度为20-200μm。
8.根据权利要求1所述的微机电换能器，其特征在于，所述固化层上设置有止裂保护层。
9.根据权利要求8所述的微机电换能器，其特征在于，所述止裂保护层为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜。
10.一种如权利要求1所述的微机电换能器的微机电换能器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
在若干个金属片上分别涂覆第一可固化层；
将若干个压敏元件分别贴在第一可固化层的边缘；
将第一可固化层贴有压敏元件的一边竖直放入第二可固化层中；
固化第一可固化层和第二可固化层形成固化层；
去除金属片形成裂纹，得到微机电换能器。
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