[发明专利]一种金属有机化合物供料控制系统

权利要求书

1.一种金属有机化合物供料控制系统，包括金属有机化合物存储罐(1)，其特征在于该金属有机化合物存储罐(1)顶部同时与载气管道(2)与输出管道(3)连通，其中：载气管道(2)延伸至有机化合物存储罐(1)底部上方，载气管道(2)依次向外设置进气手动阀(4)、单向止回阀(5)、一号三通气动阀(6)和二号三通气动阀(7)、电动压力调节器(8)、载气纯化系统(9)和载气颗粒过滤系统(10)；二号三通管道同时还与真空管道(11)连接，真空管道(11)上设置有气动阀；输出管道(3)上依次向外设置出气手动阀(12)、三号三通气动阀(13)、气动阀以及反应腔室(14)；三号三通气动阀(13)与一号三通气动阀(6)相互连通。

2.如权利要求1所述的一种金属有机化合物供料控制系统，其特征在于载气纯化系统(9)由水汽检测仪(9-1)、水汽去除装置(9-2)、氧气检测仪(9-3)、氧气去除装置(9-4)以及气动阀组成：水汽检测仪(9-1)和氧气检测仪(9-3)串联在载气管道(2)上，水汽检测仪(9-1)和氧气检测仪(9-3)间还设置有间接管道，间接管道上设置水汽去除装置(9-2)；氧气检测仪(9-3)和电动压力调节器(8)间还设置有间接管道，间接管道上设置氧气去除装置(9-4)；所述的水汽检测仪(9-1)、氧气检测仪(9-3)以及电动压力调节器(8)间设置有气动阀，水汽去除装置(9-2)和氧气去除装置(9-4)的进气端和出气端均设置有气动阀。

3.如权利要求1所述的一种金属有机化合物供料控制系统，其特征在于载气颗粒过滤系统(10)由激光粒子计数仪(10-1)、颗粒过滤器(10-2)以及气动阀组成：激光粒子计数仪(10-1)串联在载气管道(2)上，激光粒子计数仪(10-1)和水汽检测仪(9-1)间还设置有间接管道，间接管道上设置颗粒过滤器(10-2)；所述的激光粒子计数仪(10-1)和水汽检测仪(9-1)间设置有气动阀，颗粒过滤器(10-2)的进气端和出气端均设置有气动阀。

4.如权利要求1所述的一种金属有机化合物供料控制系统，其特征在于三号三通气动阀(13)和气动阀间的输出管道(3)上设有质量流量计(15)。