[发明专利]高精度空间平动微定位平台

权利要求书

1.一种高精度空间平动微定位平台，其包括基座、动平台和三个柔性支链，三个所述柔性支链呈正交布置，所述柔性支链的两端分别固接在所述基座和所述动平台上，所述基座上还安装有分别用于驱动所述柔性支链的压电陶瓷驱动器，其特征在于：所述柔性支链包括三个柔性移动副且分别为主动副、第一被动副和第二被动副，所述柔性移动副包括两组对称布置的柔性簧片，同组中的两个所述柔性簧片互相平行，所述主动副中同组的两个所述柔性簧片的一端通过刚性连接件一连接；所述第一被动副和所述第二被动副的结构相同，且其两组所述柔性簧片的一端共同连接在刚性连接件二上，另一端共同连接在刚性连接件三上；所述主动副通过所述刚性连接件一固接在所述基座上，且其两组所述柔性簧片的另一端和所述压电陶瓷驱动器分别与所述第一被动副的所述刚性连接件二连接，所述第一被动副的所述刚性连接件三与所述第二被动副的所述刚性连接件二连接，所述第二被动副的所述刚性连接件三与所述动平台固接；所述主动副、所述第一被动副和所述第二被动副中的所述柔性簧片的变形方向正交；

所述刚性连接件二为U形连接件，所述刚性连接件三为T形连接件，所述U形连接件的两端分别设有向内延伸的凸缘，所述第一被动副中的其中一组所述柔性簧片的一端分别与所述U形连接件的内侧底面连接，另一组所述柔性簧片的一端分别与两个所述凸缘连接，两组所述柔性簧片的另一端均与所述T形连接件的水平板连接，所述T形连接件的竖直板伸出所述U形连接件；

所述主动副中的两组所述柔性簧片的另一端分别连接在所述第一被动副中的所述U形连接件的两个侧壁上，所述压电陶瓷驱动器连接在所述第一被动副中的所述U形连接件的外侧底面上，所述第一被动副中的所述T形连接件的竖直板与所述第二被动副中的所述U形连接件的外侧底面连接，且所述第二被动副相对于所述第一被动副水平旋转90°，所述第二被动副中的所述T形连接件的竖直板与所述动平台固接；

三个所述柔性支链在空间上互为转动90°。

2.根据权利要求1所述的一种高精度空间平动微定位平台，其特征在于：所述主动副、所述第一被动副和所述第二被动副为一体加工成型。

3.根据权利要求1或2所述的一种高精度空间平动微定位平台，其特征在于：所述刚性连接件一为平板状结构。

4.根据权利要求1所述的一种高精度空间平动微定位平台，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器通过安装支架安装在所述基座上，所述安装支架和所述压电陶瓷驱动器均位于所述基座的外侧，所述安装支架固接在所述基座上，所述压电陶瓷驱动器的固定端固接在所述安装支架上，所述压电陶瓷驱动器的驱动端穿过所述基座后与所述第一被动副连接。