[发明专利]一种基于刚性模具的冷等静压成型方法及其应用

权利要求书

1.一种基于刚性模具的冷等静压成型方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.将已造粒好的粉料装入刚性模具内；

S2.将步骤S1中装好粉料的刚性模具装入包装袋内，抽真空处理，进行真空包装；

S3.将步骤S2中处理好的包装袋放入弹性包套内；

S4.将步骤S3中装有包装袋的弹性包套固定在冷等静压机的吊箱；

S5.将步骤S4中的吊箱放入冷等静压机的缸体内，进行冷等静压处理，得成型物料。

2.根据权利要求1所述的机遇刚性模具的冷等静压成型方法，其特征在于，步骤S1中所述刚性模具的边可相对移动。

3.根据权利要求1所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法，其特征在于，步骤S1中所述刚性模具由金属或碳素纤维制备而成。

4.根据权利要求1所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法，其特征在于，步骤S3中所述弹性包套由橡胶或树脂制备而成。

5.根据权利要求1所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法，其特征在于，步骤S1中所述粉料为包括ITO粉末、冶金粉末、石墨粉末或陶瓷粉末在内的任意一种。

6.根据权利要求5所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法，其特征在于，步骤S1中所述粉料为ITO粉末。

7.一种权利要求1~6任意一项所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法在制备ITO靶材方面的应用，其特征在于，还包括以下步骤：

S6.将步骤S5得到的成型物料，即ITO素胚，进行烧结处理，得ITO靶材。

8.根据权利要求7所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法在制备ITO靶材方面的应用，其特征在于，步骤S5中所述冷等静压处理的压力为200~350MPa。

9.根据权利要求7所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法在制备ITO靶材方面的应用，其特征在于，步骤S6中所述烧结处理工艺参数如下：温度为1350~1700℃，时间为24~72小时。

10.根据权利要求7~9任意一项所述的基于刚性模具的冷等静压成型方法在制备ITO靶材方面的应用制备得到的ITO靶材。