[发明专利]一种硅片自动插片设备

说明书

本发明创造提供了一种硅片自动插片设备，包括工作台架、电缸、水槽、片篮、滑道和水路系统，所述电缸上部固设有片篮支架，所述片篮放置于片篮支架之上，所述滑道与片篮相邻而设，靠近片篮的一侧向下倾斜，在片篮支架上放置空片篮，启动电缸，电缸上的活塞杆带动片篮移动，至片篮的第一个片槽位置对准滑道，把晶圆片放置于滑道上，晶圆片沿滑道滑到片篮内，此时电缸带动片篮下移一个片槽高度，继续放入晶圆片，如此循环操作，待片篮装满后再放入新的片篮。本发明创造能够将晶圆片自动沿滑道插入片篮中，采用自动化插片方法，降低人为插片误差，缩短工作时间、减少人工参与、提高工作效率。

技术领域

本发明创造涉及半导体材料领域，特别是涉及一种硅片自动插片设备。

背景技术

在半导体材料领域，有一道工序是将半导体硅晶圆片插入片篮中，现有技术中，大多采用人为水中插篮，人为晶圆插篮容易出现误操作、划伤硅片的现象，且插篮效率低下，难以操作，随着半导体材料领域对硅片质量要求越来越高，人工插片已难以满足厂家的要求。

发明内容

有鉴于此，本发明创造旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提供一种硅片自动插片设备。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种硅片自动插片设备，包括工作台架、电缸、水槽、片篮、滑道和水路系统，所述工作台架的上部设有控制箱，下部设有储物柜，控制箱与储物柜之间通过背板固定连接，所述背板位于控制箱与储物柜的同侧，所述水路系统位于储物柜之内，所述储物柜之上围设有工作台；

所述水槽置于工作台之内，水槽与背板之间留有空腔，所述电缸设于所述工作台架与水槽之间的空腔内，其下部穿过并固定于储物柜顶部，所述电缸包括外壳和活塞杆，所述活塞杆的一端插入外壳之内，另一端固定连接有片篮支架，所述片篮支架向下伸入水槽之中，与水槽内壁相依，其下部设有横板，所述片篮放置于横板之上；

所述滑道位于片篮远离片篮支架的一侧，由固设于水槽内壁的支撑结构支撑，所述滑道与片篮相邻，邻近片篮的一侧向下倾斜，所述滑道上表面高于片篮内底面且与片篮的底面平行。

进一步地，所述电缸、片篮支架、片篮和滑道沿同一角度倾斜，所述滑道远离片篮的一端高于水槽边缘，另一端伸入水槽之内。

进一步地，所述支撑结构包括支撑板和支撑台，支撑台位于支撑板的上方，所述支撑台的底部设有螺杆，所述支撑板上设有若干槽孔，所述螺杆从槽孔中穿过。

进一步地，两个所述支撑台之间设有内卡爪，两个所述支撑台的两侧设有外卡爪，内卡爪与外卡爪的下部均与支撑台固定连接，所述内卡爪的内部设有上下贯通的螺纹孔，螺纹孔内旋有贯穿卡爪的螺栓，所述外卡爪的上部垂直向外弯折，弯折部分上设有紧固螺栓。

进一步地，所述滑道设于支撑台上方，呈倾斜状，远离片篮的一端高于水槽边缘，另一端浸于水槽之内。

进一步地，所述滑道的两侧设有卡位板，所述卡位板远离片篮一端的内表面为外扩斜面。

进一步地，所述滑道上设有若干螺纹孔，两个所述卡位板通过螺栓与对应位置的螺纹孔相对靠近或远离。

进一步地，所述滑道靠近片篮的一端设有限位框，所述限位框的顶部设有光纤传感器。

进一步地，所述控制箱的底面设有光电传感器，所述光电传感器与片篮相对。

进一步地，所述水槽的底部与所述水路系统相连通，所述水路系统由若干水管组成，外接去离子水，通过上端溢流口向水槽内注入去离子水。

相对于现有技术，本发明创造的有益效果是：本发明创造所述的一种硅片自动插片设备，实现圆晶片沿轨道方向插入片篮中，有效地解决人工操作中划伤硅片、插篮效率低下、难以操作等弊端，节约人力，节省时间，具有高效性、稳定性、易操作等优点。