[发明专利]一种精密减振组件及由其构成的减振平台

说明书

本发明公开一种精密减振组件及由其构成的减振平台，包括底座，所述底座下方设置有若干组减震件，所述减震件包括第一固定盘和固定在第一固定盘圆心处的插柱，所述第一固定盘和底座之间通过若干个第一锁紧螺栓连接，所述插柱贯穿第二固定盘插接在第三固定盘内部，当机械设备震动时能够带动第一固定盘上的导向杆在导向孔内滑移，带动导向杆和导向孔之间的第一弹簧伸缩，在第一固定盘上下震动时，将带动插柱上的插块在第三固定盘的滑移槽内滑动，为了增大阻尼系数，将滑移槽的周壁贴覆一层防滑垫，因此减震件的减震效果较好，机械设备在运行过程中震动较小、噪音较小。

技术领域

本发明涉及精密制备技术技术领域，具体为一种精密减振组件及由其构成的减振平台。

背景技术

光刻机是一种具有复杂结构的微机电装备，分辨率和套刻精度达到纳米级，具有极大的制造难度，已接近精密制造技术的极限。光刻机对于减振系统的要求也达到了极其苛刻的程度，代表了精密减振的最高难度，也是精密减振技术的最典型应用对象。光刻机中的运动部件包括硅片台和掩模台，他们的运动和定位精度是影响光刻机整机精度的重要指标。为了完成一场曝光，掩模台和硅片沿Y方向以4：1的速度比反向扫描运动，完成一场曝光后，硅片台沿X向步进到下一场并继续曝光，由此可见，掩模台和硅片台在工作过程中一直在水平面内往复运动，这将造成掩模台硅片台在水平面内的偏转，形成内部振源，同时从基座传递的外部环境微振动与之发生耦合，严重影响运动精度。目前大多数光刻机都使用一套减振系统将光刻机分离为部分：内部世界和外部世界。外部世界为光刻机的整机框架直接与地基相连，光刻机其余部分作为内部世界悬浮于外部世界之上。这样的结构能够起到一定的隔离外部振动的功能。但时。由于减振系统的布置方式，使得减振作用仅在两部分连接处起作用，而对光刻机内部的关键部件硅片台和淹没台的内部振动激励作用不大。经过理论分析和实际测试发现，光刻机的掩模台、硅片台和物镜仍以一定的频率进行微幅振动。因此必须针对关键部件的特征进行分别减振才能满足光刻机精度不断提高的要求。掩模台和硅片台在垂向的定位精度也是影响光刻质量的主要因素，在传统的光刻机中通常采用一套结构复杂的调平调焦机构来完成垂向定位精度的保证，这样会使运动台的结构复杂化，同时由于增大工作台的惯量使得控制难度加大，为此，提出一种精密减振组件及由其构成的减振平台。

发明内容

本发明的目的在于提供一种精密减振组件及由其构成的减振平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密减振组件及由其构成的减振平台，包括底座，所述底座下方设置有若干组减震件，所述减震件包括第一固定盘和固定在第一固定盘圆心处的插柱，所述第一固定盘和底座之间通过若干个第一锁紧螺栓连接，所述插柱贯穿第二固定盘插接在第三固定盘内部，所述第二固定盘和第三固定盘之间通过若干个第二锁紧螺栓相连，所述第一固定盘在靠近第二固定盘的一面沿第一固定盘的圆心圆周阵列固定有若干个导向柱，所述第二固定盘上开设有若干个和导向柱相配合的导向孔，所述导向柱和导向孔孔底之间连接有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定在导向柱上，所述第一弹簧的另一端固定在导向孔孔底，所述第二固定盘在靠近第一固定盘的一面沿第二固定盘的圆心圆周阵列开设有若干个凹槽，所述第一固定盘和凹槽槽底之间连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定在第一固定盘上，所述第二弹簧的另一端固定在凹槽槽底，所述凹槽槽底在弹簧内部固定有插杆，所述第一固定盘上固定有与插杆相配合的套管，所述插杆在套管内部滑移，所述插柱在远离第一固定盘的一端固定有插块，所述第三固定盘内开设有供插块竖直滑移的滑移槽，所述滑移槽的周壁上固定有防滑垫。

优选的，所述第一固定盘和底座之间设置有第一弹性垫。

优选的，所述第一锁紧螺栓的端部设置有旋转耳。

优选的，所述第一锁紧螺栓和第一固定盘之间设置有第二弹性垫。

优选的，所述插块在远离插柱的一端固定有第一磁性块，所述滑移槽的槽底固定有第二磁性块，所述第一磁性块和第二磁性块相靠近的一面磁性相反。