[发明专利]一种水平微纳力值发生装置及生成方法

权利要求书

1.一种水平微纳力值发生装置，其特征在于：包括：

第一静电微纳力值发生装置，用于产生第一静电微纳力；

第二静电微纳力值发生装置，用于产生第二静电微纳力；

支撑结构，用于接收第一静电微纳力和第二静电微纳力，并传递第一静电微纳力和第二静电微纳力的合力；

微纳力值输出端，用于根据第一静电微纳力和第二静电微纳力的合力输出标准的微纳力值；

其中，第一静电微纳力与第二静电微纳力均沿水平方向，且第一静电微纳力的方向与第二静电微纳力的方向相反；

所述支撑结构的末端与微纳力值输出端连接，所述第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置分别安装在支撑结构的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种水平微纳力值发生装置，其特征在于：还包括旋转结构，所述旋转结构与支撑结构的前端连接。

3.根据权利要求2所述的一种水平微纳力值发生装置，其特征在于：还包括固定装置，所述旋转结构安装在固定装置上。

4.根据权利要求1所述的一种水平微纳力值发生装置，其特征在于：所述第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置均为叉指结构静电微纳力值发生器，所述叉指结构静电微纳力值发生器的两个极板间的结构为叉指状结构。

5.根据权利要求4所述的一种水平微纳力值发生装置，其特征在于：所述叉指结构静电微纳力值发生器施加的电压可调，或者叉指结构静电微纳力值发生器的叉指数量可调，或者叉指结构静电微纳力值发生器的叉指长度可调，或者叉指结构静电微纳力值发生器的叉指间距可调。

6.一种水平微纳力值生成方法，其特征在于：包括以下步骤：

分别通过第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置为支撑结构施加第一静电微纳力和第二静电微纳力，其中，第一静电微纳力与第二静电微纳力均沿水平方向，且第一静电微纳力的方向与第二静电微纳力的方向相反；支撑结构将所受的第一静电微纳力和第二静电微纳力的合力传递至微纳力值输出端；

调整第一静电微纳力和第二静电微纳力的大小，输出标准的微纳力值。

7.根据权利要求6所述的一种水平微纳力值生成方法，其特征在于：所述调整第一静电微纳力和第二静电微纳力的大小，输出标准的微纳力值这一步骤，具体包括：

采用控制变量法调整第一静电微纳力值发生装置施加的电压值和/或第二静电微纳力值发生装置施加的电压值，从而得到标准的微纳力值，所述标准的微纳力值的表达式为：

其中，F、F₁和F₂分别为标准的微纳力值、第一静电微纳力的大小和第二静电微纳力的大小，N是第一静电微纳力值发生装置或第二静电微纳力值发生装置中叉指的个数，ε₀为空气介电常数，U₁和U₂分别为第一静电微纳力值发生装置和第二静电微纳力值发生装置施加的电压值，g是第一静电微纳力值发生装置或第二静电微纳力值发生装置的叉指状结构中相邻两叉指侧面距离的一半，x为第一静电微纳力值发生装置或第二静电微纳力值发生装置的叉指状结构中相邻两叉指相交部分长度的一半；

通过微纳力值输出端输出标准的微纳力值。