[发明专利]一种LED外延片的选片方法有效
| 申请号: | 201811306910.7 | 申请日: | 2018-11-05 |
| 公开(公告)号: | CN109382333B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
| 发明(设计)人: | 李镇勇;艾国栋;刘岩;刘建鋆 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
| 主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
| 地址: | 361100 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 led 外延 方法 | ||
本发明提供了一种LED外延片的选片方法,包括:根据LED外延片的电流密度以及所需的LED芯片的电流密度得出波长k值;根据所述波长k值以及所述所需的LED芯片的波长范围得到所需的LED外延片波长范围;根据不同的波长标准差从多个LED外延片中选出满足相应的波长范围的LED外延片,所述相应的波长范围小于或等于所述所需的LED外延片波长范围。将选出的LED外延片制成LED芯片后,即可得到需求符合率高且产品产出集中度高的LED芯片。
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域,更具体地说,涉及一种LED外延片的选片方法。
背景技术
现有技术中,都是在LED芯片的制作过程中,选出一些LED外延片制成LED芯片成品,测出LED芯片成品发出的光线的波长,并将该波长与直接测出的LED外延片的波长相减,得出波长k值,即波长波动值。然后将任一LED外延片的波长与波长k值相加后得到该LED外延片制成的LED芯片的波长预估值,判断该波长预估值是否在正常的波长范围内,若在范围内,则将该LED外延片选出并制成LED芯片,若不在范围内,则该LED外延片报废。但是,这种选择LED外延片的方式的周期较长,不能满足实际生产的需要。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种LED外延片的选片方法,以缩短LED外延片的选片周期。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种LED外延片的选片方法,包括:
根据LED外延片的电流密度以及所需的LED芯片的电流密度得出波长k值;
根据所述波长k值以及所述所需的LED芯片的波长范围得到所需的LED外延片波长范围;
根据不同的波长标准差从多个LED外延片中选出满足相应的波长范围的LED外延片,所述相应的波长范围小于或等于所述所需的LED外延片波长范围。
可选地,根据LED外延片的电流密度以及所需的LED芯片的电流密度得出波长k值包括:
根据所述LED外延片的电流密度以及电流密度与波长的对应关系得到所述LED外延片的波长;
根据所述所需的LED芯片的电流密度以及电流密度与波长的对应关系得到所述所需的LED芯片的波长;
根据所述LED外延片的波长以及所述所需的LED芯片的波长得出所述波长k值。
可选地,所述电流密度与波长的对应关系为W=a×J3+b×J2+c×J+d,其中,W为波长,J为电流密度,a、b、c、d为常数。
可选地,根据所述LED外延片的波长以及所述所需的LED芯片的波长得出所述波长k值包括:
所述波长k值等于所述LED外延片的波长与所述所需的LED芯片的波长的差。
可选地,所述所需的LED芯片的电流密度等于所述所需的LED芯片的电流与所述所需的LED芯片的发光面积之比。
可选地,所述所需的LED外延片波长范围等于所述波长k值与所述所需的LED芯片的波长范围的和。
与现有技术相比,本发明所提供的技术方案具有以下优点:
本发明所提供的LED外延片的选片方法,不需要将LED外延片制成LED芯片来得到波长k值,只需根据LED外延片的电流密度以及所需的LED芯片的电流密度即可计算出波长k值,然后可以根据波长k值以及所需的LED芯片的波长范围得到所需的LED外延片波长范围,并根据不同的波长标准差从多个LED外延片中选出满足相应的波长范围的LED外延片,所述相应的波长范围小于或等于所述所需的LED外延片波长范围,将选出的LED外延片制成LED芯片后,即可得到需求符合率高且产品产出集中度高的LED芯片。
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