[发明专利]温度控制系统及方法有效
申请号: | 201811300603.8 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN111142590B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 张芳 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;G05D23/22 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温度 控制系统 方法 | ||
1.一种温度控制系统,包括加热元件,用于对基座进行加热;其特征在于,还包括:可变电阻元件和控制模块;其中,
所述可变电阻元件与所述加热元件串联;
所述控制模块用于根据所述加热元件的阻值变化调节所述可变电阻元件的阻值大小,以将所述加热元件与所述可变电阻元件的阻值之和维持在预定阻值。
2.根据权利要求1所述的温度控制系统,其特征在于,所述控制模块包括:电流互感器、控制单元和执行单元,其中,
所述电流互感器与所述加热元件连接,用于检测流经所述加热元件和所述可变电阻元件的实时电流;
所述控制单元用于根据所述实时电流和加热元件的当前加热功率计算当前所述加热元件和所述可变电阻元件的实时电阻之和,并根据所述实时电阻之和与所述预定阻值向所述执行单元发送控制信号;
所述执行单元用于在所述控制信号的控制下,调节所述可变电阻元件的阻值大小。
3.根据权利要求1所述的温度控制系统,其特征在于,所述可变电阻元件为滑动变阻器。
4.根据权利要求2所述的温度控制系统,其特征在于,所述执行单元包括电机和连杆,所述连杆分别与所述电机和所述可变电阻元件的滑片连接,所述电机通过驱动所述连杆以使所述滑片移动来控制所述可变电阻元件的阻值大小。
5.根据权利要求2-4中任一所述的温度控制系统,其特征在于,还包括:温度检测单元、温度控制单元和功率调节单元;其中,
所述温度检测单元用于检测所述基座的实时温度,并将所述实时温度发送至所述温度控制单元;
所述温度控制单元用于根据所述实时温度和设定温度计算获得对应的目标加热功率,并发送至所述功率调节单元;
所述功率调节单元用于将所述加热元件的当前加热功率调整至所述目标加热功率。
6.一种采用权利要求1-5中任一所述的温度控制系统进行温度控制的温度控制方法,其特征在于,所述方法包括:
获取所述加热元件的当前加热功率以及实时电流;
根据所述当前加热功率与所述实时电流计算所述加热元件与所述可变电阻元件的实时电阻之和;
根据所述实时电阻之和与所述预定阻值调节所述可变电阻元件的阻值大小,以使所述加热元件的阻值与所述可变电阻元件的阻值之和维持在预定阻值。
7.根据权利要求6所述的温度控制方法,其特征在于,所述可变电阻元件为滑动变阻器,通过驱动所述滑动变阻器的滑片移动,来控制所述可变电阻元件的阻值大小。
8.根据权利要求7所述的温度控制方法,其特征在于,将所述滑动变阻器的电阻最大位置设定为所述滑片的原点。
9.根据权利要求6-8任一项所述的温度控制方法,其特征在于,还包括:实时调节所述加热元件的加热功率。
10.根据权利要求9所述的温度控制方法,其特征在于,所述实时调节所述加热元件的加热功率,具体包括:
检测所述加热元件的实时温度;
根据所述加热元件的实时温度和设定温度计算获得目标加热功率;
将所述加热元件的当前加热功率调整至所述目标加热功率。
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