[发明专利]反熔丝结构有效
申请号: | 201811296137.0 | 申请日: | 2018-11-01 |
公开(公告)号: | CN110718531B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 黄庆玲;施江林;陈姿吟 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反熔丝 结构 | ||
1.一种反熔丝结构,包括:
一主动区,具有一第一本体部分及沿一第一方向延伸的一第一延伸部分;以及
一栅极电极,在该主动区上方,其中该栅极电极包括一第二本体部分及一第二延伸部分,该第二延伸部分沿垂直于该第一方向的一第二方向延伸;
其中该第一本体部分包括面向该第二本体部分的一部分的一第一表面,该第二本体部分包括面向该第一延伸部分的一部分的一第二表面;
其中该第一延伸部分及第二延伸部分在垂直于该第一方向及该第二方向的一第三方向上部分重叠,并且一介电层夹在该第一延伸部分及该第二延伸部分之间,形成一交叉区域,
其中该交叉区域的纵横比在0.9至1.5的范围。
2.如权利要求1所述的反熔丝结构,其中该第一表面在该第一方向上与该栅极电极分离。
3.如权利要求1所述的反熔丝结构,还包括:
一第一导电通孔,设置在该第一本体部分上,电连接到该主动区;
一第二导电通孔,设置在该第二本体部分上,电连接到该栅极电极。
4.一种反熔丝结构,包括:
一主动区,具有一第一本体部分及沿一第一方向延伸的一第一延伸部分;以及
一栅极电极,在该主动区上方,其中该栅极电极包括一第二本体部分及两个第二延伸部分;该第二延伸部分在该第一方向上从第二本体部分延伸,且该第二本体部分及该两个第二延伸部分彼此以一空间分离;
其中该第一延伸部分及该第二本体部分在垂直于该第一方向的垂直投影方向上部分重叠,并且一介电层夹在该第一延伸部分及该第二本体部分之间,形成一交叉区域,
其中该交叉区域的纵横比在0.9至1.5的范围。
5.如权利要求4所述的反熔丝结构,其中该第二本体部分包括一边缘表面,该边缘表面与供该两个第二延伸部分从其延伸的一表面相对,且其中该边缘表面在该第一方向上靠近该第一本体部分。
6.如权利要求4所述的反熔丝结构,还包括:
一第一导电通孔,设置在该第一本体部分上,电连接到该主动区。
7.如权利要求4所述的反熔丝结构,其中该第一延伸部分延伸超过该第二本体部分并从该空间凸出,并且当从该垂直投影观察时,该第一延伸部分的一部分出现在该两个第二延伸部分之间。
8.如权利要求7所述的反熔丝结构,其中该两个第二延伸部分从该第二本体部分延伸的距离大于该第一延伸部分超出该第二本体部分的距离。
9.如权利要求4所述的反熔丝结构,其中该栅极电极包括一第三本体部分,并且该两个第二延伸部分在该第二本体部分和该第三本体部分之间延伸。
10.如权利要求9所述的反熔丝结构,还包括:
一第二导电通孔,设置在该第三本体部分上,电连接到该栅极电极。
11.如权利要求9所述的反熔丝结构,其中该第一延伸部分包括面向该第三本体部分的一凸出表面。
12.如权利要求9所述的反熔丝结构,其中该两个第二延伸部分具有一延伸部分宽度,并且该空间具有宽度大于该延伸部分宽度的一空间宽度。
13.如权利要求12所述的反熔丝结构,其中该第一延伸部分的具有一宽度,该宽度大于该延伸部分宽度并且小于该空间宽度。
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