[发明专利]多电极电子光学系统

权利要求书

1.一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：

-带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；

-准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；

-产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；

-至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)，以及

其中准直器堆叠(70)包括三个支撑柱(90)，所述三个支撑柱(90)沿着外准直器周边延伸跨过三个不同角度柱范围(ΔΦ1、ΔΦ2、ΔΦ3)，并且其中所述真空泵系统(122、123)的有效泵送表面(122a、123a)跨越不与三个角度柱范围中的任一个重叠的角度泵范围(ΔΦp)。

2.根据权利要求1的带电粒子束产生器(50)，其中真空泵系统包括吸气器。

3.根据权利要求1的带电粒子束产生器(50)，其中真空泵系统(122、123)与准直器电极堆叠(70)的外周边(85)之间的距离(ΔRp)大于准直器电极堆叠中两个相邻电极之间的电极间距离(Hd)。

4.根据权利要求1的带电粒子束产生器(50)，还包括泵支撑结构(124)，该泵支撑结构(124)被布置在产生器真空腔室(51)内部并且被配置以用于借助于可选择性释放的连接来承载真空泵系统的泵单元(122、123)。

5.根据权利要求1的带电粒子束产生器(50)，其中有效泵送表面(122a、123a)的表面高度(Hp)具有最低限度上大约为准直器电极堆叠(70)的直径的值。

6.根据权利要求1的带电粒子束产生器(50)，其中真空泵系统包括至少四个吸气器(122、123)，该至少四个吸气器(122、123)布置成在垂直于轴向方向(Z)的平面中相互邻近且与轴向方向(Z)基本上平行，并且在相应的有效泵送表面(122a、123a)沿着准直器高度(Hc)的一部分的情况下延伸。

7.根据权利要求1的带电粒子束产生器(50)，其中有效泵送表面(122a、123a)所跨越的角度泵范围(ΔΦp)与限定在两个支撑柱(90)之间的角度范围很大程度上重合。

8.一种用于曝露目标(31)的带电粒子光刻系统(10)，该系统包括：

-根据权利要求1-7中任一项的带电粒子束产生器(50)，其用于产生带电粒子束(54)；

-孔阵列(58)；其用于由该带电粒子束(54)形成多个细束；以及

-细束投射器(66)，其用于将细束投射至目标(31)的表面上。