[发明专利]一种带引压管的全石英光纤压力传感器

权利要求书

1.一种带引压管的全石英光纤压力传感器，包括石英毛细管#4(6)，其特征在于：所述石英毛细管#4(6)轴向内侧的左右两端对称设有一石英毛细管#3(7)和一中空石英管#2(8)，所述石英毛细管#3(7)的左端、中空石英管#2(8)的右端分别延伸至石英毛细管#4(6)外；所述石英毛细管#3(7)内熔接有一与其直径相匹配的光纤(1)；所述中空石英管#2(8)内熔接有一右端带石英微球(2)的石英毛细管#1(3)，所述石英微球(2)为由石英毛细管#1(3)制作而成的空心的球形壳体，尾部与石英毛细管#1(3)相通；所述石英微球(2)设置于所述石英毛细管#3(7)和中空石英管#2(8)之间的空腔内，其中心点与光纤(1)的中心点位于同一水平线上；所述光纤(1)两端分别延伸至石英毛细管#3(7)外，其右端面与石英微球(2)的外表面之间形成法珀腔(5)。

2.如权利要求1所述的一种带引压管的全石英光纤压力传感器，其特征在于：所述光纤(1)为单模光纤、多模光纤或其他种类的光纤。

3.如权利要求1所述的一种带引压管的全石英光纤压力传感器，其特征在于：

石英毛细管#1(3)，其内径略大于光纤(1)的外径，外径略小于石英毛细管#2(8)的内径；

石英毛细管#2(8)，其内径略大于石英毛细管#1(3)的外径，外径略小于石英毛细管#4(6)的内径，且与石英毛细管#3(7)外径相同；

石英毛细管#3(7)，其内径略大于光纤(1)的外径，外径略小于石英毛细管#4(6)的内径，且与石英毛细管#2(8)外径相同；

石英毛细管#4(6)，其内径略大于石英毛细管#2(8)和石英毛细管#3(7)的外径。

4.如权利要求1所述的一种带引压管的全石英光纤压力传感器，其特征在于：所述石英毛细管#1(3)与石英微球(2)一体加工成型，包括如下步骤：

S1、将石英毛细管#1(3)的一端用熔接机手动模式熔接起来，另一端与压力泵相连；

S2、往石英毛细管#1(3)中打气的同时调节光纤熔接机的放电强度至60-100units对石英毛细管#1(3)封闭的端面进行电弧放电加工处理，通过调节压力泵气压和电弧放电参数控制微球的大小和形状，其中，电弧放电的次数为4-5次，每次的时间为300ms。

5.如权利要求1所述的一种带引压管的全石英光纤压力传感器，其特征在于：所述石英毛细管#4(6)内径与用石英毛细管#3(7)包裹的光纤(1)和石英微球(2)的外径相匹配，光纤(1)和石英微球(2)分别从石英毛细管#4(6)的两端放入对齐，并用熔接(4)的方式将二者固定，使其端面对齐，形成法珀腔(5)。

6.如权利要求4所述的一种带引压管的全石英光纤压力传感器，其特征在于：所述电弧放电加工处理可以替换为氢氧焰或激光处理。

7.如权利要求1所述的一种带引压管的全石英光纤压力传感器，其特征在于：所述石英毛细管#1(3)尾部延伸至中空石英管#2(8)外，其延伸段即为引压管，该引压管内的介质可以是气体或液体。