[发明专利]一种漏水检测设备及具有该漏水检测设备的曝光机在审
申请号: | 201811282256.0 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN111103097A | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/16 | 分类号: | G01M3/16 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 漏水 检测 设备 具有 曝光 | ||
1.一种漏水检测设备,用于对一装置进行漏水检测,漏水检测设备包括:
检测部,包括漏液检测器,其与装置连接,当装置内的液体泄露时,漏液检测器能够被触发,并发出漏水信号;及
储液部,其与装置连接,能够容纳自装置泄露的液体。
2.如权利要求1所述的漏水检测设备,其中,漏液检测器包括带状传感器和一检测器,检测器能够对传感器提供电压以及对漏水信号进行收集放大处理。
3.如权利要求2所述的漏水检测设备,其中,带状传感器围绕设置于至少部分装置的外周。
4.如权利要求3所述的漏水检测设备,其中,带状传感器连续的围绕装置的整个外周。
5.如权利要求4所述的漏水检测设备,其中,带状传感器与装置的外周紧密贴合。
6.如权利要求1所述的漏水检测设备,其中,储液部包括蓄水槽,蓄水槽位于漏液检测器的下方,用于接收由装置泄露的液体。
7.如权利要求6所述的漏水检测设备,其中,蓄水槽设置于至少部分装置的外周。
8.如权利要求7所述的漏水检测设备,其中,蓄水槽连续的围绕装置的整个外周。
9.如权利要求8所述的漏水检测设备,其中,蓄水槽的一侧与装置的外周紧密贴合。
10.如权利要求1所述的漏水检测设备,其中,储液部还包括储水桶,用于接收来自蓄水槽的液体。
11.如权利要求10所述的漏水检测设备,其中,储液部还包括导液管,导液管的两端分别与蓄水槽和储水桶连通,从而将蓄水槽内的液体导入储水桶内。
12.如权利要求11所述的漏水检测设备,其中,蓄水槽的底部具有开孔,导液管的一端与开孔连通,储水桶位于蓄水槽的下方。
13.如权利要求1所述的漏水检测设备,其中,检测部还包括警报器,其能够接收来自漏液检测器发出的漏水信号,并发出警报。
14.一种曝光机,其包括曝光单元、防震台、电控柜及如权利要求1至13中任一项所述的漏水检测设备,曝光机支撑于防震台上,电控柜设置于防震台的下方,漏液检测器和储液部与曝光单元或防震台连接,当曝光单元内的液体泄露时,漏液检测器能够被触发,并发出漏水信号。
15.如权利要求14所述的曝光机,其中,漏液检测器围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周,储液部围绕设置于至少部分曝光单元或防震台的外周。
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