[发明专利]一种利用正负压工作的集成电路清灰设备

权利要求书

1.一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：包括清灰头（1）、正负压发生器（2）和导管（3），所述正负压发生器（2）的输出端通过导管（3）与清灰头（1）连通；

所述清灰头（1）由一个空心柱体（101）和一个空心的圆锥体（102）组成，圆锥体（102）的顶点处开设有一个半径在1-4CM的微孔；

所述正负压发生器（2）包括一个带盖的空心壳体（201），空心壳体（201）的内部被一个可活动的活塞Ⅰ（202）分割成两个互不相通的空腔，并且在两个空腔内分别设置驱动机构（203）和净化机构（204），所述净化机构（204）上贯穿设置有空心管体（205），空心管体（205）上设置有止回阀Ⅰ（4），活塞Ⅰ（202）上开设有通孔（5），所述通孔（5）的内部设置有气流流向限制机构（6），并且在净化机构（204）的底部固定有弹性伸缩组件（7），弹性伸缩组件（7）的底部设置有能将通孔（5）堵塞的密封塞（8），且弹性伸缩组件（7）的伸缩范围小于活塞Ⅰ（202）的升降范围；

所述导管（3）由外管（301）、进气管（302）和排气管（303）组成，进气管（302）和排气管（303）均设置在外管（301）的内部，并且在排气管（303）上设置有止回阀Ⅱ（10），所述外管（301）的一端与空心柱体（101）的一端连通，所述外管（301）的另一端贯穿空心壳体（201）的内部，所述进气管（302）的一端延伸至净化机构（204）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述净化机构（204）包括一个顶部带盖的密闭空心箱体（2041），空心箱体（2041）的内部设置有隔板（2042），隔板（2042）的顶部留有一个气流通道，并且在隔板（2042）的一侧填充有液体，空心管体（205）贯穿设置在隔板（2042）的另一侧，进气管（302）的自由端延伸至液体内，并且在进气管（302）上设置有一个弯曲部，弯曲部位于液面上方。

3.根据权利要求1所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述弹性伸缩组件（7）包括套管（701），所述套管（701）的内部滑动安装有滑杆（702），所述滑杆（702）的底部延伸到套管（701）的外侧，并与密封塞（8）的顶部固定连接，并且滑杆（702）的外表面缠绕有弹簧（703），弹簧（703）的顶部和底部分别与套管（701）的底部和密封塞（8）的顶部接触。

4.根据权利要求3所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述滑杆（702）的侧壁上开设有滑槽，滑槽的顶部和底部均呈封闭状，且套管（701）的内壁上设置有凸块，凸块延伸至滑槽的内部。

5.根据权利要求1所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述气流流向限制机构（6）包括一个空心桶体（601），空心桶体（601）的内部滑动安装有活塞Ⅱ（602），活塞Ⅱ（602）与空心桶体（601）内壁的底部之间固定连接有弹性元件（603），空心桶体（601）的顶部设置有半径小于活塞Ⅱ（602）的开口，空心桶体（601）的底部设置有连通内腔的导腔（604），导腔（604）的一端出口位于空心桶体（601）的下方，并且导腔（604）的另一出口位于空心桶体（601）的侧壁上同时位于活塞Ⅱ（602）的下方。

6.根据权利要求5所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述弹性元件（603）为一根纳米弹簧。

7.根据权利要求1所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述空心管体（205）的位于空心箱体（2041）内部的一端设置有一个球形的过滤罩（9）。

8.根据权利要求1所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述驱动机构（203）为一台型号为XTL100行程为700MM的电动推杆，电动推杆的输出端与活塞Ⅰ（202）的底部固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种利用正负压工作的集成电路清灰设备，其特征在于：所述空心柱体（101）的一端设置有内螺纹，外管（301）一端的外表面设置外螺纹，空气柱体（101）与外管（301）之间通过内螺纹与外螺纹进行螺纹连接。