[发明专利]一种直热式固体金属离子源有效
| 申请号： | 201811276370.2 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN111128650B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张赛;彭立波;易文杰;袁卫华;金则军;王迪平 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/24;H01J37/317 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;戴玲 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直热式 固体 金属 离子源 | ||
1.一种直热式固体金属离子源，其特征在于：包括离子源弧室(1)、灯丝部件(2)和含铝部件(3)，所述灯丝部件(2)包括灯丝端面(21)、螺旋侧面(22)和导电部(23)，所述灯丝端面(21)由单根灯丝径向盘旋形成，所述螺旋侧面(22)由单根灯丝轴向螺旋形成，所述导电部(23)与灯丝端面(21)和螺旋侧面(22)连接，所述含铝部件(3)包括相互连接的第一环体(31)和第二环体(32)，所述离子源弧室(1)一端具有安装孔(101)，所述第二环体(32)装于安装孔(101)内，所述第一环体(31)伸入离子源弧室(1)内，所述灯丝端面(21)和螺旋侧面(22)设于第一环体(31)内，所述导电部(23)穿出第二环体(32)位于离子源弧室(1)外，所述灯丝端面(21)和螺旋侧面(22)由同一根灯丝螺旋形成，所述灯丝的两端向远离灯丝端面(21)一端平行延伸，并构成所述导电部(23)。
2.根据权利要求1所述的直热式固体金属离子源，其特征在于：所述离子源弧室(1)由钼材料制作而成。
3.根据权利要求1或2所述的直热式固体金属离子源，其特征在于：所述离子源弧室(1)由弧室引出顶板(11)、弧室底板(12)、两个弧室端板(13)和两个弧室侧板(14)构成，所述安装孔(101)设于其中一个弧室端板(13)上。
4.根据权利要求3所述的直热式固体金属离子源，其特征在于：所述弧室端板(13)内侧设有两个卡槽(131)，外侧设有两个定位槽(132)，所述弧室侧板(14)两端卡于卡槽(131)内，所述弧室引出顶板(11)两端的内侧分别设有两个圆柱销(4)，所述弧室底板(12)两端对应设有两个圆柱销(4)，各圆柱销(4)卡于各定位槽(132)内。
5.根据权利要求4所述的直热式固体金属离子源，其特征在于：所述弧室引出顶板(11)的四角分别设有拉紧槽(111)。
6.根据权利要求4所述的直热式固体金属离子源，其特征在于：所述弧室引出顶板(11)上设有离子引出孔(102)，所述弧室底板(12)上设有离子源进气孔(103)；另一个弧室端板(13)上设有离子源的反射极安装孔(104)。
7.根据权利要求1或2所述的直热式固体金属离子源，其特征在于：所述第一环体(31)的直径大于第二环体(32)的直径。
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