[发明专利]激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质

说明书

本申请属于激光加工技术领域，涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。该激光加工方法包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽_x时，所述A轴补偿移动▽_x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽_y时，所述B轴补偿移动▽_y。其有利于十字运动平台的工件处于所述振镜扫描系统加工范围中心的最优加工区域。

技术领域

本申请属于激光加工技术领域，涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。

背景技术

目前，很多的激光加工设备会使用到振镜扫描系统。由于振镜扫描系统受限于工作原理，其在远离加工范围中心的位置会出现激光光线与加工表面存在倾角及光斑畸变增大的现象，并且会出现定位点插值间距变大、定位精度会变差等问题。现有技术中，在对加工精度要求较高的应用中，只能使用振镜扫描系统加工范围中心附近的很小的一块区域，即最优加工区域。

发明人在研究本申请的过程中发现，现有技术中针对上述的解决方案是，在振镜扫描系统加工完一个区域后停下来，移动十字运动平台将被加工物体的另外一个待加工区域移入振镜扫描系统的最优加工区域，然后再重新开始加工。现有技术中存在操作繁琐，效率较低，而且无法在必须连续激光加工的应用中使用。

发明内容

本申请的实施例公开了激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质，旨在提高激光加工的精度、效率。

本申请的一个或者多个实施例公开了一种激光加工方法，应用于振镜扫描系统和十字运动平台联动激光加工，包括：所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动，以实现规划的加工轨迹；当所述十字运动平台驱动工件运动时，获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号；将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算；当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽_x时，所述A轴补偿移动▽_x；当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽_y时，所述B轴补偿移动▽_y。

在本申请的一个或者多个实施例中，所述将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算的步骤包括：

分别计算所述A轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pa、所述B轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Pb、所述X轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Px以及所述Y轴移动单位距离对应的反馈信号的脉冲数量Py；

计算所述脉冲数量Pa与所述脉冲数量Px的比例系数Ka，所述脉冲数量Pb与所述脉冲数量Py的比例系数Kb；或者，计算所述脉冲数量Px与所述脉冲数量Pa的比例系数Kx，所述脉冲数量Py与所述脉冲数量Pb的比例系数Ky；

根据所述比例系数Ka将所述X轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述A轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Kb将所述Y轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述B轴的反馈信号的脉冲数量；或者，根据所述比例系数Kx将所述A轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述X轴的反馈信号的脉冲数量，以及根据所述比例系数Ky将所述B轴的反馈信号的脉冲数量换算成所述Y轴的反馈信号的脉冲数量。

在本申请的一个或者多个实施例中，所述差值▽_x按照以下的公式计算：