[发明专利]一种光酸化合物、包含其的光刻胶组合物及使用方法

权利要求书

1.一种光酸化合物，其特征在于，所述光酸化合物具有式(I)结构：

式(I)中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶均各自独立地选自重氮萘醌基团或氢原子，且R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶中至少有三个选自重氮萘醌基团；

式(I)中，R’¹、R’²、R’³均各自独立地选自氢、羟基、C1～C12烷基、醚基、羧酸基、C6～C30芳基或C3～C30杂芳基中的任意一种；

所述重氮萘醌基团包括

2.一种光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物中包括权利要求1所述的光酸化合物。

3.根据权利要求2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括酚醛树脂、功能助剂和溶剂。

4.根据权利要求2所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物按照重量百分比包括如下组分：

5.根据权利要求3或4所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述酚醛树脂具有式(II)结构：

所述酚醛树脂的重均分子量为2000～15000。

6.根据权利要求3或4所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述功能助剂包括增感剂、流平剂、增粘剂、增塑剂和染料中的任意一种或至少两种组合。

7.根据权利要求3或4所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述溶剂包括二乙基碳酸酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、乙酸甲基环己基酯、乙酸正壬酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇单乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇苯醚醋酸酯、乙二醇二乙酸酯、丙酸乙酯、丙酸正丁酯、丙酸异戊酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸正丁酯、乳酸正戊酯、丙二酸二乙酯、邻苯二甲酸二甲酯、邻苯二甲酸二乙酯、1,3-丙烷磺内酯、甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、异丁醇、正戊烷、异戊烷、正己烷、异己烷和正庚烷中的任意一种或至少两种组合。

8.一种根据权利要求2～7之一所述的光刻胶组合物的使用方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)将所述光刻胶组合物涂覆在基板上，成膜后，一次烘烤，降温至室温；

(2)对降温后的基板按预定图案进行曝光，用显影液显影，清洗后进行二次烘烤，得到光刻后的基板。

9.根据权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述曝光的光源为全波段光。

10.根据权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述涂覆的方式包括旋转涂布方式和/或刮涂方式。

11.根据权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述一次烘烤的温度为80～120℃。

12.根据权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述二次烘烤的温度为110～140℃。