[发明专利]流量检测装置、流量控制系统及流量检测方法

权利要求书

1.一种流量检测装置，用于检测气体通道内的流量，所述气体通道包括相连接的上游通道和下游通道，所述上游通道和下游通道的连接处形成喉口，且所述喉口的横截面积小于所述上游通道和下游通道二者中任意一个的横截面积，其特征在于，所述流量检测装置用于提高气体质量流量控制系统的对气体流量的控制精度；所述流量检测装置包括：

第一压力测试单元，用于测定所述上游通道的第一压力值；

第二压力测试单元，用于测定所述下游通道的第二压力值；

流量计算单元，分别与所述第一压力测试单元、所述第二压力测试单元连接，以根据所述第一压力值和所述第二压力值得出矫正流量值；其中，

根据所述第一压力值P_i和所述第二压力值P_j的下述关系式得出所述矫正流量值Q_V：

，，

其中，Q_V表示所述矫正流量值，k表示比例常数，P_i表示所述第一压力值，P_j表示所述第二压力值。

2.根据权利要求1所述的流量检测装置，其特征在于，所述第一压力测试单元包括：

第一传感器，用于与所述上游通道连接，以测定所述上游通道的第一压力值；

第一传感器驱动电路，与所述第一传感器连接，用于驱动所述第一传感器；

第一A/D转换电路，分别与所述第一传感器和所述流量计算单元连接，用于将所述第一压力值由模拟信号转换为数字信号，以及用于将数字信号的所述第一压力值传输至所述流量计算单元。

3.根据权利要求1所述的流量检测装置，其特征在于，所述第二压力测试单元包括：

第二传感器，用于与所述下游通道连接，以测定所述下游通道的第二压力值；

第二传感器驱动电路，与所述第二传感器连接，用于驱动所述第二传感器；

第二A/D转换电路，分别与所述第二传感器和所述流量计算单元连接，用于将所述第二压力值由模拟信号转换为数字信号，以及用于将数字信号的所述第二压力值传输至所述流量计算单元。

4.一种流量控制系统，其特征在于，包括：

权利要求1-3任意一项所述的流量检测装置；

气体通道，包括相连接的上游通道和下游通道，气体由所述上游通道流入后经所述下游通道流出，其中，所述上游通道和下游通道的连接处还形成喉口，且所述喉口的横截面积小于所述上游通道和下游通道二者中任意一个的横截面积；

阀装置，设于所述上游通道的进气口，用于根据所述流量检测装置得出的矫正流量值控制所述气体通道的气体流量。

5.根据权利要求4所述的流量控制系统，其特征在于，所述阀装置包括：

压电阀，设于所述上游通道的进气口，用于控制所述上游通道的进气口的大小；

压电驱动电路，与所述压电阀连接，用于驱动所述压电阀；

第三D/A转换电路，分别与所述压电驱动电路和所述流量计算单元连接，用于将所述矫正流量值由数字信号转换为模拟信号，并利用所述模拟信号的矫正流量值控制所述压电驱动电路。

6.一种流量检测方法，应用于权利要求1-3任意一项所述的流量检测装置，其特征在于，所述流量检测方法包括：

当气体通过气体通道的喉口时，分别测定上游通道的第一压力值以及下游通道的第二压力值；

通过分析所述第一压力值和所述第二压力值，得出矫正流量值；其中，

根据所述第一压力值P_i和所述第二压力值P_j的下述关系式得出所述矫正流量值Q_V：，，

其中，Q_V表示所述矫正流量值，k表示比例常数，P_i表示所述第一压力值，P_j表示所述第二压力值。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述得出矫正流量值之后还包括：

根据所述矫正流量值控制所述气体通道内的气体流量。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述矫正流量值控制所述气体通道内的气体流量包括：通过压电阀控制所述气体通道内的气体流量。