[发明专利]微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统

权利要求书

1.微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，其特征在于：包括有微波等离子体放电腔和扩散腔，放电腔外部设有磁铁组件，扩散腔底部设有真空机组，放电腔与扩散腔之间相连通；所述放电腔为等离子体产生区，放电腔内设有与气源连接的上、下进气管以及与微波源相连接的同轴圆波导，同轴圆波导内设有同轴微波天线；所述的同轴圆波导由铜内导体与套在铜内导体外的石英玻璃管组成，以铜内导体作为同轴圆波导的内导体，以被石英玻璃管与铜内导体之间的微波电场激发的等离子体作为同轴圆波导的外导体；所述的同轴微波天线位于同轴圆波导中的铜内导体与石英玻璃管之间；在磁铁组件产生的磁场增强下，使用同轴圆波导以及同轴微波天线在微波传输过程中控制微波能量损耗和馈入，从而激发工作气体产生均匀高密度线形微波等离子体源，并在扩散腔形成较均匀的高密度等离子体分布；所述的同轴圆波导内贯穿整个波导的同轴微波天线为良导体材料，开口方式可为开口半圆柱或三角楔形开口圆柱；所述的磁铁组件可组合形成发散场磁场分布，或形成类磁镜场磁场分布，以满足不同的应用范围。

2.根据权利要求1所述的微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，其特征在于：所述磁铁组件可为合金永磁材料或者铁氧体永磁材料。

3.根据权利要求1所述的微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，其特征在于：所述放电腔及扩散腔为无磁或弱磁不锈钢的真空腔体。

4.根据权利要求1所述的微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，其特征在于：所述的工作气体为惰性气体，或者还原性气体，或者汽化的液体，或者惰性气体与硅烷或烃类气体的混合气体。

5.根据权利要求1所述的微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，其特征在于：所述的扩散腔可内置基片台。