[发明专利]基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统

说明书

本发明提供的基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统，在步骤S1中根据晶片的数量和每一晶片经历的工序的数量建立工序集合，并在步骤S2中计算工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列，由于每次执行的工序都是在步骤S2中从所有未执行工序中全局选取的，且每次执行的工序都是等待时间最短的工序，根据动态规划理论最优化原理，一个解的所有阶段子解为最优解，则所有阶段子解构成的集合为一个最优解，因此，采用本发明提供的物料调度方法进行工艺的总时间是用时最短的，进而提升设备产能，使设备产能达到最优。

技术领域

本发明属于微电子领域，涉及半导体加工设备，具体涉及一种基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，半导体加工设备越来越复杂。物料(待加工工件)在加工过程中需要在多个不同腔室之间传输，甚至还需在不同工艺进行加工处理。

目前，本领域中常见的一种调度方法为基于搜索树的枚举方法，其是根据预先设定的物料传输路径以及设备各部件的参数(例如机械手的传片时间)，用搜索树的方式将物料可能的所有移动顺序穷举一遍，最终选择时间最短的那个分支作为物料的移动顺序。

然而，在该调度方法中，当物料的传输路径较为复杂时，搜索树产生的分支较多，在这种情况下，将物料可能的所有移动顺序穷举一遍需要消耗大量的时间，从而计算效率较低，无法满足实时计算的要求，另外，在该调度方法中，物料移动路径是局部选取，不是全局选取，移动路径非全局最优，设备产能未达最大化

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统。

作为本发明的一方面，本发明提供的了一种基于设备状态的物料调度方法，将设备中的腔室作为站点，其包括以下步骤：

S1、根据晶片的数量和每一晶片经历的工序的数量，建立工序集合；

S2、计算工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列；

S3、按照执行序列执行工序；

S4、判断执行序列中是否还有未执行工序，若是，则返回步骤S2，若否，则结束。

其中，在执行步骤S3之前还包括：

S31、判断待执行工序的站点是否为异常站点，若是异常站点，则从执行序列中移除异常站点执行的工序，并返回步骤S2重新确定执行序列；若不是异常站点，则进行步骤S3。

其中，步骤S3包括：

S32、判断待执行工序的站点中是否具有闲置工艺位，若有，则进行步骤S33；若无，则返回判断待执行工序的站点中是否具有闲置工艺位；

S33、按照执行序列执行工序。

其中，步骤S1还包括：

建立工序状态列表，其中，工序状态列表包括所有工序和每一工序对应的工序状态，工序状态包括已执行和未执行；

且步骤S3还包括：

S34、将工序状态列表中该工序对应的工序状态变更为已执行。

其中，步骤S3还包括：在按照执行序列执行工序之后，将已执行的工序删除。

作为本发明的另一方面，本发明还提供了一种物料调度系统，包括用于执行任务的站点，其中，还包括，

计算线程模块，用于根据晶片的数量和每一晶片经历的工序的数量建立工序集合，并且，计算工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列；

执行模块，用于按执行序列执行待执行任务；