[发明专利]一种倒装LED芯片及其制作方法有效
申请号: | 201811256109.6 | 申请日: | 2018-10-26 |
公开(公告)号: | CN109616564B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 张威;王江波 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/38 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 215600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倒装 led 芯片 及其 制作方法 | ||
1.一种倒装LED芯片,所述倒装LED芯片包括衬底、N型半导体层、有源层、P型半导体层、反光层、绝缘层、P型电极、N型电极、N型焊盘和P型焊盘;所述N型半导体层、所述有源层和所述P型半导体层依次层叠在所述衬底上,所述P型半导体层上设有延伸至所述N型半导体层的凹槽;所述N型电极设置在所述凹槽内的N型半导体层上,所述P型电极设置在所述P型半导体层上,所述反光层在所述P型半导体层除所述P型电极所在区域之外的区域上;所述绝缘层铺设在所述凹槽内和所述反光层上,所述绝缘层上设有延伸至所述P型电极的第一通孔和延伸至所述N型电极的第二通孔;所述N型焊盘和所述P型焊盘间隔设置在所述绝缘层上,所述P型焊盘通过所述第一通孔延伸至所述P型电极,所述N型焊盘通过所述第二通孔延伸至所述N型电极;
其特征在于,所述绝缘层的上表面与所述N型焊盘的上表面和所述P型焊盘的上表面位于同一平面;所述绝缘层的上表面包括凸起部和凹陷部,所述凸起部相对于所述凹陷部的高度小于所述绝缘层的厚度,所述凸起部的顶面与所述N型焊盘的上表面和所述P型焊盘的上表面位于同一平面;所述N型焊盘和所述P型焊盘之间设有所述凸起部和所述凹陷部,所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凸起部和凹陷部中的至少一个与所述N型焊盘之间的距离不等于与所述P型焊盘之间的距离。
2.根据权利要求1所述的倒装LED芯片,其特征在于,所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凸起部包括第一凸起部和第二凸起部,所述第一凸起部与所述N型焊盘之间的距离小于所述第一凸起部与所述P型焊盘之间的距离,所述第二凸起部与所述N型焊盘之间的距离大于所述第二凸起部与所述P型焊盘之间的距离;所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凹陷部设在所述N型焊盘与所述第一凸起部之间、所述第一凸起部与所述第二凸起部之间、以及所述第二凸起部与所述P型焊盘之间。
3.根据权利要求2所述的倒装LED芯片,其特征在于,所述第一凸起部与所述N型焊盘之间的距离为10μm~50μm;所述第二凸起部与所述P型焊盘之间的距离为10μm~50μm。
4.根据权利要求2所述的倒装LED芯片,其特征在于,所述第一凸起部的宽度为5μm~50μm;所述第二凸起部的宽度为5μm~50μm。
5.根据权利要求1所述的倒装LED芯片,其特征在于,所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凹陷部包括第一凹陷部和第二凹陷部,所述第一凹陷部与所述N型焊盘之间的距离小于所述第一凹陷部与所述P型焊盘之间的距离,所述第二凹陷部与所述N型焊盘之间的距离大于所述第二凹陷部与所述P型焊盘之间的距离;所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凸起部设在所述第一凹陷部与所述第二凹陷部之间。
6.根据权利要求5所述的倒装LED芯片,其特征在于,所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凸起部还设在所述N型焊盘与所述第一凹陷部之间、以及所述第二凹陷部与所述P型焊盘之间。
7.根据权利要求1~6任一项所述的倒装LED芯片,其特征在于,所述N型焊盘远离所述P型焊盘的一侧设有所述凸起部和所述凹陷部,所述N型焊盘远离所述P型焊盘的一侧设置的凹陷部设在所述N型焊盘远离所述P型焊盘的一侧设置的凸起部与所述N型焊盘之间;所述P型焊盘远离所述N型焊盘的一侧设有所述凸起部和所述凹陷部,所述P型焊盘远离所述N型焊盘的一侧设置的凹陷部设在所述P型焊盘远离所述N型焊盘的一侧设置的凸起部与所述P型焊盘之间。
8.根据权利要求1~6任一项所述的倒装LED芯片,其特征在于,设置在所述绝缘层上的N型焊盘的厚度等于所述凸起部相对于所述凹陷部的高度,设置在所述绝缘层上的P型焊盘的厚度等于所述凸起部相对于所述凹陷部的高度。
9.一种倒装LED芯片的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在衬底上依次生长N型半导体层、有源层和P型半导体层;
在所述P型半导体层上开设延伸至所述N型半导体层的凹槽;
在所述P型半导体层上形成反光层;
在所述凹槽内的N型半导体层上设置N型电极,并在所述P型半导体层除所述反光层所在区域之外的区域上设置P型电极;
在所述凹槽内和所述反光层上形成绝缘层,所述绝缘层上设有延伸至所述P型电极的第一通孔、延伸至所述N型电极的第二通孔;
在所述绝缘层上间隔设置N型焊盘和P型焊盘,所述P型焊盘通过所述第一通孔延伸至所述P型电极,所述N型焊盘通过所述第二通孔延伸至所述N型电极,所述N型焊盘的上表面、所述P型焊盘的上表面与所述绝缘层的上表面位于同一表面;所述绝缘层的上表面包括凸起部和凹陷部,所述凸起部相对于所述凹陷部的高度小于所述绝缘层的厚度,所述凸起部的顶面与所述N型焊盘的上表面和所述P型焊盘的上表面位于同一平面;所述N型焊盘和所述P型焊盘之间设有所述凸起部和所述凹陷部,所述N型焊盘和所述P型焊盘之间的凸起部和凹陷部中的至少一个与所述N型焊盘之间的距离不等于与所述P型焊盘之间的距离。
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