[发明专利]液浸部件及曝光装置

权利要求书

1.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，该液浸曝光装置一边使衬底相对于曝光用光的光路沿扫描方向移动，一边对所述衬底的各拍摄区域依次进行曝光，所述液浸部件的特征在于，具有：

第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部；和

第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，

所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述物体之间，

所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述物体之间的液体的至少一部分，

所述第1液体回收部包括多个液体回收口，

所述多个液体回收口沿着四边形的假想线配置，

所述四边形在与所述扫描方向平行的第1方向上，在所述曝光用光的光路的两侧具有顶点，并且在与所述扫描方向正交的第2方向上，在所述曝光用光的光路的两侧具有顶点。

2.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

所述第1部件具有第1液体供给部，该第1液体供给部配置在所述第1开口部周围的至少一部分，且能够与所述物体的表面相对。

3.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述光路与所述第1液体回收部之间且能够与所述物体的表面相对。

4.如权利要求2所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述光路与所述第1液体回收部之间且能够与所述物体的表面相对。

5.如权利要求3所述的液浸部件，其特征在于，

所述第1液体回收部能够回收来自所述第2液体供给部的所述液体的至少一部分。

6.如权利要求3所述的液浸部件，其特征在于，

所述液浸空间的液体的界面关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，被维持在所述第2液体供给部与所述第1液体回收部之间。

7.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。

8.如权利要求2所述的液浸部件，其特征在于，

还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。

9.如权利要求3所述的液浸部件，其特征在于，

还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。

10.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。

11.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，

所述第1部件还包含配置在所述第1部分的上方的第2部分，

所述第2液体回收部配置在所述第2部分上。

12.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，

所述第2部件还具有第1气体供给部，该第1气体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述第1液体回收部的外侧，且能够与所述物体的表面相对。