[发明专利]一种磊晶基板的加工装置

权利要求书

1.一种磊晶基板的加工装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）上设置有支撑架（2）、放置板（3）、除尘装置（4）和固定杆（5），所述支撑架（2）固定连接在所述工作台（1）的上表面，所述放置板（3）固定连接在所述支撑架（2）的内侧，所述除尘装置（4）固定连接在所述工作台（1）底部的右侧，所述固定杆（5）固定连接在所述放置板（3）的右侧，所述支撑架（2）上设置有第一推动器（6）和第二推动器（7），所述第一推动器（6）固定连接在所述支撑架（2）上端的中间处，所述第二推动器（7）固定连接在所述支撑架（2）上端的右侧，所述第一推动器（6）的下方设置有第一推动杆（8），所述第一推动杆（8）的下端设置有限位板（9），所述第二推动器（7）的下方设置有第二推动杆（10），所述第二推动杆（10）的下方设置有驱动电机（11），所述驱动电机（11）的左端设置有切割刀（12），所述放置板（3）的右侧设置有刻度尺（13），所述固定杆（5）的上端设置有缓冲板（14），所述除尘装置（4）上设置有吸尘电机（15）、吸尘管（16）、输送管（17）和装尘室（18），所述吸尘电机（15）固定连接在所述除尘装置（4）内部的右侧，所述吸尘管（16）固定连接在所述吸尘电机（15）的上端，所述输送管（17）固定连接在所述吸尘电机（15）的左端。

2.根据权利要求1所述的一种磊晶基板的加工装置，其特征在于：所述限位板（9）通过螺纹与所述第一推动杆（8）的下端相连接，所述限位板（9）的右端与所述放置板（3）的右端在同一水平面上。

3.根据权利要求1所述的一种磊晶基板的加工装置，其特征在于：所述切割刀（12）通过铆钉与所述驱动电机（11）相连接，并且与所述限位板（9）和放置板（3）的右端有5mm的间隙。

4.根据权利要求1所述的一种磊晶基板的加工装置，其特征在于：所述固定杆（5）通过铆钉与所述工作台（1）相连接，所述缓冲板（14）通过螺纹与所述固定杆（5）的上端相连接，所述缓冲板（14）呈弧形。

5.根据权利要求1所述的一种磊晶基板的加工装置，其特征在于：所述吸尘管（16）采用PVC的材质制作，所述吸尘管（16）的上端穿过所述除尘装置（4）的内部，并且位于所述放置板（3）的右端，所述吸尘管（16）的另一端通过铆钉与所述吸尘电机（15）相连接。