[发明专利]场增强因子提取方法、装置、系统以及存储介质

权利要求书

1.一种场增强因子提取方法，其特征在于，所述方法包括：

获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流；所述形变时刻为所述静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻；所述形变过程的起始时刻为对静电换能器施加偏置电压的时刻，所述形变过程的终止时刻为可动电极在偏置电压下发生最大形变的时刻；

对根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系进行拟合，得到拟合关系；并根据所述拟合关系，得到所述静电换能器的场致电子发射效应的场增强因子；

根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系的步骤包括：

获取所述电极间电流的平方值与所述电极间距的乘积；

根据所述乘积的对数与所述电极间距，得到所述线性关系。

2.根据权利要求1所述的场增强因子提取方法，其特征在于，根据所述拟合关系，得到所述静电换能器的场致电子发射效应的场增强因子的步骤包括：

根据所述线性关系的斜率、所述偏置电压以及所述静电换能器的电极材料参数，得到所述场增强因子。

3.根据权利要求2所述的场增强因子提取方法，其特征在于，根据以下公式获取所述场增强因子：

其中，β表示所述场增强因子；B表示第一系数；表示所述静电换能器的电极材料参数；V表示所述偏置电压；k表示线性关系的斜率。

4.根据权利要求1所述的场增强因子提取方法，其特征在于，根据所述线性关系得到所述静电换能器的场致电子发射效应的场增强因子的步骤包括：

根据所述线性关系的截距、所述偏置电压以及所述静电换能器的电极面积，得到所述场增强因子。

5.根据权利要求4所述的场增强因子提取方法，其特征在于，根据以下公式获取所述场增强因子：

其中，β表示所述场增强因子；b表示所述线性关系的截距；D表示第二系数；V表示所述偏置电压；A表示所述静电换能器的电极面积。

6.一种场增强因子提取装置，其特征在于，所述装置包括：

数据获取模块，用于获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流；所述形变时刻为所述静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻；所述形变过程的起始时刻为对静电换能器施加偏置电压的时刻，所述形变过程的终止时刻为可动电极在偏置电压下发生最大形变的时刻；

拟合关系获取模块，用于对根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系进行拟合，得到拟合关系；根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系的步骤包括：获取所述电极间电流的平方值与所述电极间距的乘积；根据所述乘积的对数与所述电极间距，得到所述线性关系；

增强因子获取模块，用于根据所述拟合关系得到所述静电换能器的场致电子发射效应的场增强因子。

7.一种场增强因子提取系统，其特征在于，所述系统包括计算机设备；所述计算机设备用于实现权利要求1至5中任一项所述方法的步骤。

8.根据权利要求7所述的场增强因子提取系统，其特征在于，还包括激光共聚显微镜以及电流采集设备；所述激光共聚显微镜、所述电流采集设备连接所述计算机设备；

所述激光共聚显微镜用于采集静电换能器在各形变时刻的电极间距，并将所述电极间距传输给所述计算机设备；

所述电流采集设备用于采集所述静电换能器在各形变时刻的电极间电流，并将所述电极间电流传输给所述计算机设备。

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述的方法的步骤。