[发明专利]曝边机及基板曝边方法在审
申请号: | 201811240142.X | 申请日: | 2018-10-23 |
公开(公告)号: | CN109375472A | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 王威 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 拍摄装置 机台 曝光位置 位置补偿 预设 计算位置 人工调节 四周边缘 偏移 光刻胶 触碰 破片 去除 残留 反馈 | ||
1.一种曝边机,其特征在于,包括:机台(10)、设于所述机台(10)上的多个拍摄装置(20)以及与所述机台(10)和多个拍摄装置(20)均连接的控制单元(30);
所述机台(10)用于放置基板(40);
所述拍摄装置(20)用于获得基板(40)的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值;
所述控制单元(30)用于根据位置补偿值控制机台(10)调节基板(40)的位置至预设的曝光位置。
2.如权利要求1所述的曝边机,其特征在于,所述拍摄装置(20)具有与预设的曝光位置对应的曝光坐标。
3.如权利要求2所述的曝边机,其特征在于,所述基板(40)上设有与曝光坐标对应的对位标记;所述拍摄装置(20)通过曝光坐标与对位标记进行对位,并计算得到位置补偿值。
4.如权利要求3所述的曝边机,其特征在于,所述拍摄装置(20)的数量为三个,所述对位标记的数量为三个,三个拍摄装置(20)对应的曝光坐标分别与三个对位标记一一对应。
5.如权利要求1所述的曝边机,其特征在于,所述控制单元(30)控制机台(10)通过旋转调节基板(40)的位置至预设的曝光位置。
6.一种基板曝边方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供曝边机;所述曝边机包括:机台(10)、设于所述机台(10)上的多个拍摄装置(20)以及与所述机台(10)和多个拍摄装置(20)均连接的控制单元(30);
步骤S2、将基板(40)放置于机台(10)上,所述拍摄装置(20)获得基板(40)的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值;
步骤S3、所述控制单元(30)根据位置补偿值控制机台(10)调节基板(40)的位置至预设的曝光位置。
7.如权利要求6所述的基板曝边方法,其特征在于,所述拍摄装置(20)具有与预设的曝光位置对应的曝光坐标。
8.如权利要求7所述的基板曝边方法,其特征在于,所述基板(40)上设有与曝光坐标对应的对位标记;所述步骤S2中,所述拍摄装置(20)通过曝光坐标与对位标记进行对位,并计算得到位置补偿值。
9.如权利要求8所述的基板曝边方法,其特征在于,所述拍摄装置(20)的数量为三个,所述对位标记的数量为三个,三个拍摄装置(20)对应的曝光坐标分别与三个对位标记一一对应。
10.如权利要求6所述的基板曝边方法,其特征在于,所述步骤S3中,所述控制单元(30)控制机台(10)通过旋转调节基板(40)的位置至预设的曝光位置。
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