[发明专利]一种安全环保型镀铜添加剂及其制备方法有效
| 申请号: | 201811231097.1 | 申请日: | 2018-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN109112587B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
| 发明(设计)人: | 刘晓霞;陈朝琦 | 申请(专利权)人: | 江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司 |
| 主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
| 代理公司: | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人: | 谭慧 |
| 地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 安全 环保 镀铜 添加剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种安全环保型镀铜添加剂,其特征在于,包括4~6g/L脂肪胺聚氧乙烯醚、2~4g/L含巯基的杂环化合物、10~15g/L聚乙烯亚胺烷基化合物以及1~2g/L络合剂;其中,脂肪胺聚氧乙烯醚的总胺值为50~60mgKOH/g,聚乙烯亚胺烷基化合物含有杂环基团;含巯基的杂环化合物选自5-氧代-6-(巯基甲基)-1-硫杂-4-氮杂环十三烷-3-羧酸和5-巯基-4-苯基-3H-1,2-二硫杂环戊烯-3-硫酮;
聚乙烯亚胺烷基化合物的制备原料包括聚乙烯亚胺以及含卤素的杂环化合物;
含卤素的杂环化合物的结构为
2.根据权利要求1所述安全环保型镀铜添加剂,其特征在于,脂肪胺聚氧乙烯醚的结构为R1为烃基,其碳原子数为8~20,n+m=6。
3.根据权利要求1所述安全环保型镀铜添加剂,其特征在于,络合剂选自酒石酸钾钠、柠檬酸钠、乙二胺四乙酸二钠、三乙醇胺中的任一种或多种的组合。
4.根据权利要求1~3任一项所述安全环保型镀铜添加剂的制备方法,其特征在于,依次向水中加入脂肪胺聚氧乙烯醚、聚乙烯亚胺烷基化合物、含巯基的杂环化合物以及络合剂。
5.一种安全环保型电镀液,其特征在于,包含如权利要求1~3任一项所述的安全环保型镀铜添加剂。
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