[发明专利]一种多版并列光刻的排版系统有效
| 申请号: | 201811229365.6 | 申请日: | 2018-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN109270803B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
| 发明(设计)人: | 陈莹;常敏;孟庆涛;邢国军 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人: | 张轶 |
| 地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 并列 光刻 排版系统 | ||
1.一种多版并列光刻的排版系统,其特征在于,该系统包括:
阵列光源(100),所述阵列光源(100)设置在竖直板(200)上;
排版装置(300),所述排版装置(300)包括排架(310)、安装在所属排架(310)上的与所述阵列光源(100)一一对应的反射单元(320),所述反射单元(320)中设置有反射镜(1)、开闭装置,所述排架(310)上连接有滑轨(330),所述滑轨(330)中设置有用来滑动所述排架(310)的驱动机构,所述反射单元(320)在竖直高度上错开排放,使得每个所述反射单元(320)能够得到对应所述阵列光源(100)的照射;
若干光学图像缩小装置(400),所述光学图像缩小装置(400)排放在所述滑轨(330)的移动方向的下方,所述光学图像缩小装置(400)包括接收端、输出端,所述接收端用来接收所述排版装置(300)的反射光;
若干待印刷板(500),所述待印刷板(500)与所述光学图像缩小装置(400)一一对应,所述待印刷板(500)与所述输出端相对设置,所述待印刷板(500)的上表面设置有能被所述阵列光源(100)中光线分解的胶剂;以及
控制器,所述控制器与所述驱动机构、所述开闭装置电连接;
其中,
所述阵列光源(100)中的光线经过所述反射镜(1)照射向所述接收端形成光路径,所述开闭装置用来切断或者连通所述光路径;所述反射镜(1)的反面设置有连接架(11),所述连接架(11)上连接有撞击件(12),所述连接架(11)中铰接设置有固定杆(13),所述固定杆(13)上套设有固定弹簧(2),所述固定弹簧(2)的一端固定连接在所述固定杆(13)上,所述固定弹簧(2)的另一端固定连接在所述连接架(11)上;所述开闭装置包括电动气缸(3)、防干涉壳(4),所述固定杆(13)固定在所述防干涉壳(4)的内侧壁上,所述防干涉壳(4)上设有用来接收所述阵列光源(100)中光线的光线入口(41)以及朝向所述接收端的光线出口(42),所述防干涉壳(4)的内部竖直设置有滑槽(43),所述滑槽(43)中设置有推板(44),所述推板(44)的一侧与所述电动气缸(3)的移动部固定连接,所述撞击件(12)设置在所述推板(44)的滑动路径上;所述滑槽(43)的底端高于所述连接架(11),所述防干涉壳(4)的底部设置有限位板(45);其中,所述电动气缸(3)处于缩短状态时,所述推板(44)与所述撞击件(12)不接触,所述反射镜(1)水平设置;所述电动气缸(3)处于伸长状态时,所述推板(44)带动所述撞击件(12)旋转,所述反射镜(1)转动至其一侧与所述限位板(45)相抵靠,所述反射镜(1)与水平面之间构成预定角度。
2.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统,其特征在于,所述系统还包括机械臂,用来取送所述待印刷板(500)。
3.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统,其特征在于,所述系统还包括定位装置,用来定位所述待印刷板(500)。
4.根据权利要求3所述的多版并列光刻的排版系统,其特征在于,所述定位装置上设有感应器,所述感应器与所述控制器电连接。
5.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统,其特征在于,所述预定角度为45度。
6.根据权利要求5所述的多版并列光刻的排版系统,其特征在于,所述电动气缸(3)与所述控制器电连接。
7.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统,其特征在于,所述阵列光源(100)中的光线为激光。
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