[发明专利]分光器及分光器的制造方法

说明书

分光器(1A)包括：光检测元件(20)，其设置有光通过部(21)、第1光检测部(22)及第2光检测部(26)；支撑体(30)，其以形成空间(S)的方式固定于光检测元件(20)；第1反射部(11)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)内将通过光通过部(21)的光(L1)反射；第2反射部(12A)，其设置于光检测元件(20)，且在空间(S)内将由第1反射部(11)反射的光(L1)反射；及分光部(40A)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)内将由第2反射部(12A)反射的光(L1)相对于第1光检测部(22)分光并且反射。第2光检测部(26)在包围第2反射部(12A)的区域配置有多个。

本申请是申请日为2015年2月3日、申请号为201580007241.1、发明名称为分光器及分光器的制造方法的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种将光分光并进行检测的分光器、及分光器的制造方法。

背景技术

例如，在专利文献1中记载有一种分光器，该分光器包括：光入射部；分光部，其将自光入射部入射的光分光并且反射；光检测元件，其对经分光部分光并且反射的光进行检测；及箱状的支撑体，其支撑光入射部、分光部及光检测元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-298066号公报

发明内容

发明所要解决的问题

对于如上所述的分光器而言，根据用途的扩展，要求进一步的小型化。但是，分光器越是小型化，则越是容易因各种原因而导致分光器的检测精度降低。

因此，本发明的目的在于提供一种可抑制检测精度的降低并且可谋求小型化的分光器、及可容易地制造此种分光器的分光器的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的分光器包括：光检测元件，其设置有光通过部、第1光检测部及第2光检测部；支撑体，其以在与光通过部、第1光检测部及第2光检测部之间形成空间的方式固定于光检测元件；第1光学部，其设置于支撑体，且在空间内将通过光通过部的光反射；第2光学部，其设置于光检测元件，且在空间内将由第1光学部反射的光反射；及第3光学部，其设置于支撑体，且在空间内将由第2光学部反射的光相对于第1光检测部反射；第2光学部或第3光学部在空间内将入射的光分光并且反射，第2光检测部在包围第2光学部的区域内配置有多个。

该分光器中，在由光检测元件及支撑体形成的空间内形成自光通过部至第1光检测部的光路。由此，可谋求分光器的小型化。再有，多个第2光检测部配置于包围第2光学部的区域。由此，可在包围第2光学部的区域监视分光前的光的状态，而可恰当地调整通过光通过部的光的入射NA及入射方向等。由此，根据该分光器，可抑制检测精度的降低并且可谋求小型化。

本发明的一个方面的分光器中，第1光学部也可为在空间内将通过光通过部的光反射的第1反射部，第2光学部也可为在空间内将由第1反射部反射的光反射的第2反射部，第3光学部也可为在空间内将由第2反射部反射的光相对于第1光检测部分光并且反射的分光部。根据该构成，已通过光通过部的光依次在第1反射部及第2反射部反射并入射至分光部。由此，易于调整入射至分光部的光的入射方向、及该光的扩散或收敛状态，因此，即使缩短自分光部至第1光检测部的光路长度，也能够使经分光部分光的光精度良好地聚光至第1光检测部的规定位置。