[发明专利]一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺有效
| 申请号： | 201811210146.3 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109186638B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 徐鑫;阮晓明;张明 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电流 标度 因数 可控 加速度计 伺服 电路 及其 制造 工艺 | ||
1.一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路，其特征在于，包括差动电容转换器、电流积分器、跨导/补偿放大器、V/I转换器和采样电阻；差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，同时，加速度计表头中力矩器的信号输出端还与采样电阻的一端连接，采样电阻的另一端接地。
2.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路，其特征在于，采样电阻采用外置采样电阻Rext。
3.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路，其特征在于，差动电容转换器采用LZF15。
4.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路，其特征在于，跨导/补偿放大器采用LC5226，其是二次配电电源芯片7809和7909与传统跨导/补偿放大器芯片LB314集成为一体的芯片。
5.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路，其特征在于，该伺服电路使加速度计电流标度因数差异小于0.1％。
6.权利要求1-5任一项所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路的制造工艺，其特征在于，通过厚膜工艺在基片上制作无源电阻网络，裸芯片差动电容转换器、跨导/补偿放大器、V/I转换器中的精密放大器采用绝缘胶粘接在厚膜陶瓷基板上；电容采用再流焊工艺焊接在厚膜陶瓷基板上；厚膜陶瓷基板采用绝缘胶粘接在金属外壳上；通过金丝键合技术实现芯片与厚膜陶瓷基板无源电阻网络的电气互联；金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装。
7.根据权利要求6所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路的制造工艺，其特征在于，电路内部键合丝采用Φ30μm金丝。
8.根据权利要求6所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路的制造工艺，其特征在于，金属外壳采用10#钢外壳。
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