[发明专利]一种制备电子级氟化氢工艺装置

权利要求书

1.一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：包括蒸腾循环反应器、循环流化床蒸馏塔、洗涤吸收冷凝塔组件；蒸腾循环反应器包括氧化反应釜、气液分离器、循环储槽、沉淀池、降液排管、沸腾排管、回流排管、集液箱，气液分离器包括分离槽、挡液板，循环储槽底部设计有沉淀池，用于汇集沉淀的络合物微粒，集液箱通过沸腾排管与氧化反应釜连通，氧化反应釜通过降液排管与循环储槽连通，循环储槽通过回流排管与集液箱连通，形成集液箱、沸腾排管、氧化反应釜、降液排管、循环储槽、回流排管、集液箱的循环连通的回路，自上而下依次布置氧化反应釜、集液箱、循环储槽；循环流化床蒸馏塔包括多级旋液分离冷凝器Ⅰ、循环流化床蒸馏塔体、料液入口、恒温再沸器、多级旋液分离冷凝器Ⅱ、U型液封组件、回流管、布液盘，恒温再沸器包括换热管组件、翼板，翼板安装在换热管组件上并一级级规整排列；洗涤吸收冷凝塔组件包括洗涤吸收塔、循环贮槽、循环泵组件、冷凝塔，洗涤吸收塔包括集液管、洗涤吸收塔体、进气导管、填料、布液栅板、喷淋管件、排气导管，冷凝塔包括尾气进口、冷凝塔体、冷凝管板、除液装置、尾气排放口、冷凝液出口，尾气依次经进气导管、填料、布液栅板、喷淋管件、排气导管、尾气进口、冷凝管板、除液装置、尾气排放口完成冷凝过程，冷凝下来的氢氟酸冷凝液与气体分离经集液管和冷凝液出口汇集到循环贮槽中，循环泵组件将循环贮槽中的氢氟酸冷凝液返回喷淋管件洗涤冷凝尾气。

2.根据权利要求1所述的一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：氟化氢蒸腾循环的路径是自集液箱经沸腾排管气化蒸腾上升，到氧化反应釜氧化后气液分离，由降液排管冷凝液化下流至循环储槽，部分氟化氢冷凝液从回流排管回流汇集到集液箱中，部分作为中间产品引出。

3.根据权利要求1所述的一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：循环流化床蒸馏塔体分为上下两段，上部为精馏段，下部为提馏段，精馏段设计有多级旋液分离冷凝器Ⅰ、多级旋液分离冷凝器Ⅱ，提馏段设计有恒温再沸器，氧化处理后的氟化氢液从设计在循环流化床蒸馏塔体中部的料液入口进入，注入布液盘。

4.根据权利要求1所述的一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：多级旋液分离冷凝器Ⅱ底部设计有U型液封组件和回流管，为调整回流比，将部分氟化氢液返回布液盘成为回流液。

5.根据权利要求1所述的一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：多级旋液分离冷凝器Ⅰ设计在循环流化床蒸馏塔体内，多级旋液分离冷凝器Ⅱ设计在循环流化床蒸馏塔体外，多级旋液分离冷凝器Ⅰ、多级旋液分离冷凝器Ⅱ均设计有通冷却水的夹套。

6.根据权利要求1所述的一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：洗涤吸收塔、冷凝塔的底部与循环贮槽连通，形成U型连通器。

7.根据权利要求1所述的一种制备电子级氟化氢工艺装置，其特征是：冷凝塔的尾气进口与冷凝塔体采用文丘里管原理设计，目的是使尾气经直径较小的尾气进口压缩后进入直径较大的冷凝塔体扩散，使液滴在尾气内分布均匀，从而提高在冷凝管板的冷凝效率。