[发明专利]一种黑硅绒面结构的制备方法

权利要求书

1.一种黑硅绒面结构的制备方法，包括：

1)将经过沉银和挖孔的硅片放入硝酸和氢氟酸的混合溶液中反应，得到第一步扩孔的硅片；

所述步骤1)中硝酸和氢氟酸的混合溶液中，硝酸的质量百分比浓度为34％～44.2％，氢氟酸的质量百分比浓度为3.4％～4.5％；

2)将第一步扩孔后的硅片放入双氧水与氟化铵的混合溶液中进行反应，得到第二步扩孔的硅片，

其中，所述双氧水与氟化铵的混合溶液中，所述双氧水的质量百分比浓度为7.5％～12.5％；所述氟化铵的质量百分比浓度为0.4％～1.1％；

3)将第二步扩孔的硅片进行碱洗，得到制绒的黑硅。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中反应的温度为8～12℃。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中反应的时间为40～80S。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述双氧水与氟化铵的混合溶液中，所述双氧水的质量百分比浓度为9.0％～10.5％；所述氟化铵的质量百分比浓度为0.55％～0.7％。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中反应的温度为8～12℃。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中反应的时间为100～360S。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)的碱洗具体为采用KOH、NH₃.H₂0和H₂O₂混合溶液对步骤2)得到的硅片的绒面进行修饰绒。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述KOH、NH₃.H₂0和H₂O₂混合溶液中，KOH的质量百分比浓度为1.8％～3.8％，所述NH₃.H₂0的质量百分比浓度为0.5％～1.5％，所述H₂O₂的质量百分比浓度为0.9％～2.1％。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述碱洗的温度为30～45℃。