[发明专利]基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测方法在审
| 申请号： | 201811205335.1 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111060526A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 王莹 | 申请（专利权）人： | 苏州微微视视觉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 陆晓鹰 |
| 地址： | 215131 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 图片 处理 金属 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测方法，其特征在于，包括如下步骤，
S1：将同轴光源打开，相机采图检测刀纹：光线通过靶材溅射面反射进入相机，当溅射面合格无刀纹时，相机获得灰度均匀变化的图像；当溅射面存在刀纹时，由于刀纹与溅射面表面存在高度差，光线在刀纹出现漫反射，使得刀纹在图像中表现为亮条；
S2：关闭同轴光源，打开条形光源，相机采图检测划痕：
相机的视野范围处于条形光源散射出的光照强度较小的部分，由于靶材溅射面很光滑，光线在其表面呈镜面反射，所以当溅射面合格无划痕时，相机会获得较暗的图像；当溅射面存在划痕时，由于划痕处与溅射面表面存在高度差，光线在划痕处出现了漫反射，使得划痕在图像中表现为亮痕。
2.根据权利要求1所述的基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测方法，其特征在于，金属靶材安装在旋转车床上，由旋转车床主轴驱动其旋转，进而对其进行分区域检测。
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