[发明专利]弧源装置及该弧源装置的弧源磁场的调节方法有效

专利信息
申请号: 201811204516.2 申请日: 2018-10-16
公开(公告)号: CN109385607B 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 周敏;王文宝;朱岩;李军旗 申请(专利权)人: 深圳精匠云创科技有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/14
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 唐芳芳;李艳霞
地址: 518109 广东省深圳市龙华区龙华街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 装置 磁场 调节 方法
【权利要求书】:

1.一种弧源装置,其特征在于:所述弧源装置包括靶材、横置线圈、多个纵置线圈及多个电源,所述横置线圈平行于所述靶材且位于所述靶材之后,多个所述纵置线圈依次设置于所述横置线圈中,所述横置线圈、多个所述纵置线圈与所述靶材之间的垂直距离相同,所述横置线圈、每个所述纵置线圈分别电性连接一个所述电源,多个所述电源能够分别调节所述横置线圈及多个所述纵置线圈的电流大小及方向,所述横置线圈与所述靶材具有相同的中轴线且所述横置线圈的磁极垂直于所述靶材;多个所述纵置线圈平行且间隔设置,多个所述纵置线圈垂直于所述靶材且设置于所述横置线圈中,所述纵置线圈的磁极平行于所述靶材。

2.如权利要求1所述的弧源装置,其特征在于:至少一个靠近所述横置线圈的所述纵置线圈的电流方向与所述横置线圈相同。

3.如权利要求1所述的弧源装置,其特征在于:所述弧源装置还包括多个铁芯,每个所述纵置线圈分别缠绕于相应的一个所述铁芯上。

4.如权利要求3所述的弧源装置,其特征在于:所述铁芯为导磁材料。

5.如权利要求1所述的弧源装置,其特征在于:所述弧源装置还包括冷却件,所述冷却件用以对所述靶材、所述横置线圈及所述纵置线圈进行冷却。

6.一种弧源磁场的调节方法,其包括以下步骤:

提供一如权利要求1-5中任一所述的弧源装置;

所述电源使用第一电流组合对所述横置线圈及多个所述纵置线圈进行供电,蚀刻所述靶材;

所述电源使用第二电流组合对所述横置线圈及多个所述纵置线圈进行供电,蚀刻所述靶材,所述第二电流组合与所述第一电流组合产生的磁场的磁拱位置不同;

所述电源使用第三电流组合对所述横置线圈及多个所述纵置线圈进行供电,蚀刻所述靶材,所述第三电流组合与所述第一电流组合及所述第二电流组合产生的磁场的磁拱位置不同;

循环使用所述第一电流组合、所述第二电流组合及所述第三电流组合直至所述靶材消耗完。

7.如权利要求6所述的弧源磁场的调节方法,其特征在于:所述横置线圈与所述靶材具有相同的中轴线,多个所述纵置线圈平行且间隔设置且多个所述纵置线圈垂直于所述靶材,使得所述第一电流组合在靶材平面上形成轴对称的反向磁拱,所述第二电流组合在靶材平面上形成的磁拱相对所述第一电流组合产生的磁拱向右偏移,所述第三电流组合在靶材平面上形成的磁拱相对所述第一电流组合产生的磁拱向左偏移。

8.如权利要求7所述的弧源磁场的调节方法,其特征在于:所述纵置线圈为八个,第一电流组合中所述横置线圈及八个所述纵置线圈的磁势依次为800AN、800AN、300AN、800AN、800AN、800AN、800AN、300AN及800AN,第二电流组合中所述横置线圈及八个所述纵置线圈的磁势依次为800AN、800AN、300AN、800AN、800AN、0AN、0AN、500AN及800AN,第三电流组合中所述横置线圈及八个所述纵置线圈的磁势依次为800AN、800AN、500AN、0AN、0AN、800AN、800AN、300AN及800AN。

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