[发明专利]阵列基板防腐蚀保护结构、阵列基板、显示屏及保护方法

说明书

本发明公开一种阵列基板防腐蚀保护结构、阵列基板、显示屏及保护方法。该阵列基板防腐蚀保护结构，包括底层为金属导电膜层和顶层为氧化铟锌IZO层的膜层结构；其中，所述金属导电膜层位于基板基底之上；所述氧化铟锌IZO层位于所述金属导电膜层之上。本发明提供的方案，能防止阵列基板中的孔腐蚀和走线腐蚀，提高产品良率。

技术领域

本发明涉及平板显示技术领域，具体涉及一种阵列基板防腐蚀保护结构、阵列基板、显示屏及保护方法。

背景技术

目前市场上有各种各样的显示器产品，例如LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)和OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示器等。近年来，LCD得到了蓬勃发展，TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)液晶显示器产品的类型也与日俱增，例如TN(Twisted Nematic，扭曲向列型)类型、IPS(In-Plane Switching，平面转换)类型。

TFT液晶显示器生产过程中，TFT显示屏的孔腐蚀和走线腐蚀是一直困扰本行业的难题，其机理没有被完全熟知。导电走线一般是指在TFT阵列基板中，用于传送电信号的导电线路。参见图1，图1是现有技术中导电走线腐蚀示意图。现有技术中，金属导电膜层例如MoAlMo(钼铝钼)等顶层的Mo/Ti(钼/钛)会受到脱膜液等腐蚀，而受到脱膜液腐蚀的Mo在过孔干刻后，Mo会被刻蚀且坑洼不平。上述情况的出现，是由于显示屏中的阵列基板的导电走线需要通过过孔与IZO(氧化铟锌)连接才能与驱动IC和FPC(Flexible Printed Circuit，柔性电路板)等外界连接，从而不可避免地出现水汽、腐蚀液体和气体从过孔进入，形成孔腐蚀和走线腐蚀，从而严重影响制程良率和产品可靠性。

因此，如何解决TFT显示屏阵列基板中的孔腐蚀和走线腐蚀是一个急需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种阵列基板防腐蚀保护结构、阵列基板、显示屏及保护方法，能防止阵列基板中的孔腐蚀和走线腐蚀，提高产品良率。

根据本发明的一个方面，提供一种阵列基板防腐蚀保护结构：

所述保护结构包括底层为金属导电膜层和顶层为氧化铟锌IZO层的膜层结构；其中，

所述金属导电膜层位于基板基底之上；

所述氧化铟锌IZO层位于所述金属导电膜层之上。

优选的，所述氧化铟锌IZO层的膜厚为50-2000唉。

优选的，所述金属导电膜层包括：

纯Mo或其合金与Al或其合金组成的膜层结构，

纯Ti或其合金与Al或其合金组成的膜层结构，

纯Mo或其合金与Cu或其合金组成的膜层结构，或者，

纯Ti或其合金与Cu或其合金组成的膜层结构。

根据本发明的另一个方面，提供一种阵列基板，包括上述的阵列基板防腐蚀保护结构。

根据本发明的另一个方面，提供一种显示屏，所述显示屏中的阵列基板包括上述的阵列基板防腐蚀保护结构。

根据本发明的另一个方面，提供一种阵列基板防腐蚀保护方法，包括：

在基板基底形成金属导电膜层；

在所述金属导电膜层之上形成氧化铟锌IZO层，使得形成底层为金属而顶层为氧化物的膜层结构。

优选的，所述在所述金属导电膜层之上形成氧化铟锌IZO层，包括：

采用溅射法在所述金属导电膜层之上形成氧化铟锌IZO层。