[发明专利]一种离子束传输光路

权利要求书

1.一种离子束传输光路，其特征在于：包括用于产生包含目标元素离子的离子源(1)、用于引出包含目标元素离子的离子束(10)的引出电极(2)、用于对离子束(10)进行筛选的分析器(3)、设有光栏缝的分析光栏(4)、用于离子束(10)聚焦的聚焦透镜(6)、用于提升离子束(10)能量的加速管(5)、用于对离子束(10)进行对称扫描以将离子束(10)扩张为扇形扫描离子束(10)的对称静电扫描电极(73)、以及用于对扇形扫描离子束(10)的角度进行矫正以形成平行离子束(10)的均匀磁场平行透镜(81)，所述离子源(1)、引出电极(2)、分析器(3)、分析光栏(4)、聚焦透镜(6)、加速管(5)、对称静电扫描电极(73)以及均匀磁场平行透镜(81)依次设置，所述分析光栏(4)靠近所述聚焦透镜(6)的一侧设有分析法拉第(13)，在调节分析器(3)分析磁场时，通过分析法拉第(13)检测到的束流峰值判断束流对准分析光栏(4)状态，所述加速管(5)与所述对称静电扫描电极(73)之间设有聚焦光栏(11)，所述聚焦光栏(11)上设有光栏孔，所述对称静电扫描电极(73)靠近所述均匀磁场平行透镜(81)的一侧设有聚焦法拉第(12)，通过聚焦法拉第(12)检测到的束流值，以最大束流通过效率为参考，调节聚焦透镜的(6)的聚焦参数以及其他单元的参数，在聚焦光栏(11)处得到最小束斑。

2.根据权利要求1所述的离子束传输光路，其特征在于：所述聚焦法拉第(12)为可伸缩的结构，聚焦法拉第(12)当需要检测通过聚焦光栏(11)的束流值时伸出进入检测位置，不检测时缩回停留在旁侧位置。

3.根据权利要求1所述的离子束传输光路，其特征在于：所述分析法拉第(13)为可伸缩的结构，分析法拉第(13)上设有光栏孔，且当需要检测通过分析光栏(4)的束流值时伸出进入检测位置，不检测时缩回停留在旁侧位置。

4.根据权利要求1所述的离子束传输光路，其特征在于：所述分析器(3)的入口处设有入口光栏(14)，所述入口光栏(14)上设有光栏孔。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的离子束传输光路，其特征在于：所述引出电极(2)可沿X轴、Y轴及Z轴运动。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的离子束传输光路，其特征在于：所述聚焦透镜(6)为具有Y轴方向和Z轴方向双聚焦功能的透镜。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的离子束传输光路，其特征在于：所述加速管(5)为多级等梯度加速结构。