[发明专利]一种用于离子源束流的冷却装置

说明书

本发明提供了一种用于离子源束流的冷却装置，所述装置中的放电室外罩、放电室、放电室法兰与放电室端挡板通过公差配合装配后焊接为一体，冷却水进出管与放电室法兰焊接为一体，与外部水源通过带螺纹快卸接头连接软管接通，共同形成冷却水循环回路，达到对离子束流热量冷却的目的。本发明结构紧凑、简单，冷却高效、安全可靠,使用寿命长。

技术领域

本发明属于设备降温冷却领域，具体涉及一种用于离子源束流的冷却装置，能够对需要冷却的离子源束流起到较好的冷却效果。

背景技术

目前，工程上利用冷却水流动带走热量，降低离子源束流工作产生的热量是常用的一种冷却方式，但在很多场合由于空间的限制要求，采用的夹层式冷却装置降温冷却效果较差。

发明内容

为克服已有技术中降温冷却效果较差的问题，本发明提供一种用于离子源束流的冷却装置，能够对需要冷却的离子源束流起到较好的冷却效果，具有体积小、高效冷却的特点。

本发明的技术方案如下：

本发明的用于离子源束流冷却装置，其特点是，所述的装置包含放电室外罩、放电室、放电室法兰、冷却水进出管、放电室端挡板、气管和冷却腔体。上述冷却装置的连接关系是，所述装置外形为圆筒状，放电室外罩的开口端部轴向设置有放电室法兰，放电室外罩与放电室法兰通过止口定位固定连接；放电室置于放电室外罩的内孔中，放电室的一端与放电室外罩的顶端部形成冷却腔体，放电室外圆表面设置为双头螺旋槽，放电室法兰的通水孔与放电室外圆表面螺旋槽的螺纹起始段连接，形成水冷却循环通道。冷却水进出管置于放电室法兰的通水孔中，冷却水管与放电室法兰通过止口定位固定接连。放电室的另一端与放电室法兰之间设置有放电室端挡板，放电室端挡板分别与放电室和放电室法兰固定连接。气管穿过放电室法兰与放电室固定连接，并与放电室腔内相通。

所述的放电室外表面上的双头螺旋槽的起始端为轴线180°对称设置。

所述的放电室法兰上的通水孔为轴线180°对称分布。

所述的放电室外罩与放电室法兰焊接固定；冷却水进出管与放电室法兰焊接固定；放电室端挡板分别与放电室和放电室法兰焊接固定；放电室与放电室外罩焊接固定。

本发明中，放电室外罩、放电室、放电室法兰、放电室端板相互装配的部分，尺寸上具有小间隙配合公差要求，利于控制焊接变形。

本发明中的冷却水进出管为两个，对称设置于放电室法兰两侧，用于冷却水的流入和流出；冷却水进出管与外部冷却水源采用带螺纹的快插接头与软管连接。

所述的放电室外表面为双头螺旋槽结构，螺纹起始端为对称180°方向布置，螺旋槽螺距的大小和深度可根据离子束流冷却要求进行调整。

本发明的冷却装置，由放电室外罩、放电室外表面螺旋槽、放电室法兰、放电室端挡板、外接冷却水源形成冷却水回路，当冷却水通过一个冷却水进出管进入冷却水路时，水流通过一路螺旋槽进入到放电室外罩和放电室形成的冷却腔体，将冷却腔体中离子束流产生的热量通过另一路螺旋槽沿放电室外表面快速带出。

本发明的有益效果是，本发明中采用双头螺旋槽结构形成冷却回路，实现对离子源束流的冷却，保证冷却水的单向流动性，增加被冷却部件的散热面积提高散热冷却效果。本发明结构紧凑、简单，冷却高效、安全可靠,使用寿命长。

附图说明

图1为本发明的用于离子源束流的冷却装置的轴测图；

图2为本发明的主视剖面图；

图3为本发明的俯视剖面图；

图4为本发明的左视图；

图中，1. 放电室外罩 2.放电室 3.放电室法兰 4.冷却水进出管 5.放电室端挡板6.气管 7.冷却腔体。