[发明专利]一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法

权利要求书

1.一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、通过聚焦离子束飞行时间二次离子质谱仪，把微悬臂探针的前端切割成平台；

步骤二、将用于制备探针的微球颗粒依次置于丙酮、乙醇溶液超声清洗，清洗后的微球颗粒放置在乙醇或者水分散液中保存备用，得到带微球颗粒的分散液；将标记有位置的硅片模板依次放在丙酮和异丙醇溶液中进行超声清洗，最后用纯净氮气把清洗后的模板吹干，备用；取一滴所述步骤二得到的带微球颗粒的分散液，滴在所述标记有位置的硅片模板上，干燥后待用，并通过原子力显微镜根据标记记录下微球颗粒的位置；

步骤三、所述步骤一中制备好的探针替换所述原子力显微镜上的商用探针；

步骤四、把带有环氧胶水层的载玻片或硅片固定在所述原子力显微镜的样品台上，利用所述原子力显微镜自带的高分辨光学显微镜和位置控制系统移动到所述环氧胶水层相对较薄的区域，调节所述原子力显微镜接触模式下进针，探针接触到环氧胶表面后，使所述步骤一得到的平台充分粘上环氧胶，然后退针；

步骤五、把所述带有环氧胶水层的载玻片或硅片更换为所述步骤二得到的分散有微球颗粒的标记有位置的硅片模板，利用所述原子力显微镜自带的高分辨光学显微镜和位置控制系统寻找所述步骤二中记录的微球颗粒位置，精确定位进针，待微球颗粒接触到探针上的环氧胶表面后，使微球颗粒能够粘接在探针上，得到所述原子力显微镜用亚微米探针；所述原子力显微镜用亚微米探针为尖端带有亚微米颗粒的微悬臂探针。

2.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤一中的微悬臂探针的微悬臂是带有针尖的微悬臂、三角形的微悬臂或者矩形的微悬臂；所述平台的宽度为0.5-1.5微米。

3.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤二中通过原子力显微镜根据标记记录下微球颗粒的位置的具体操作为：依次打开原子力显微镜的控制器和配套软件，选择商用探针，对分散有微球颗粒的硅片模板进行扫描成像，根据标记记录下分散性较好的微球颗粒的位置；所述商用探针的针尖的曲率半径为2-50nm；所述分散性较好指微球颗粒之间的位置足够远，避免微球颗粒粘接到探针上时微球颗粒之间互相影响。

4.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤三探针替换后，重新调整激光的位置和反射值，保证原子力显微镜有效的进针。

5.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤四中的带有环氧胶水层的载玻片或硅片的制备操作具体为：将双组分的环氧胶滴在清洗干净的载玻片或者硅片上，搅拌均匀后，用另外一片清洗干净的载玻片的侧面刮去多余的双组分的环氧胶，或者用旋涂仪高速旋涂，使得载玻片或硅片表面的环氧胶尽量薄，得到所述带有环氧胶水层的载玻片或硅片。

6.如权利要求5所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述双组分的环氧胶的固化时间为30分钟以上。

7.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述步骤五还包括在微球颗粒粘接在探针上后，从原子力显微镜的微悬臂架上取下制备好的探针，放置在洁净的环境中24小时，使环氧胶水完全固化。

8.如权利要求1所述的原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，所述微球颗粒为200-1000nm大小的球状或者片层颗粒，进一步地，微球颗粒为二氧化硅小球或者有机药物颗粒。

9.一种采用如权利要求1所述的制备方法获得的原子力显微镜用亚微米探针。