[发明专利]一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法

说明书

本发明公开一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法，S1：在硅片镀背面钝化膜的工序中，于硅片背面依次镀Al₂O₃膜、SiO₂膜和SiN_x膜，形成背面钝化膜，同时，在硅片正面边沿形成绕镀膜；S2：在由步骤S1所得产品的背面钝化膜表面上制作水膜；S3：使由步骤S2所得产品通过HF/HCl槽，去除绕镀膜；S4：使由步骤S3所得产品通过水槽，去除残余药液；S5：干燥由步骤S4所得产品。本发明改善了管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀现象，改善了电池的外观，提高了光电转换效率。在常规背面钝化膜Al₂O₃/SiNx之间增设SiO₂膜，提高了水膜的亲水性，有利于去除绕镀膜和保护背钝化膜不被气相侵蚀。

技术领域

本发明属于晶硅太阳能PERC电池制备技术，特别涉及一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法。

背景技术

对于晶体硅电池而言，PERC背钝化技术有效改善了背面晶硅与金属接触复合问题，大大提高了晶体硅电池的光电转换效率，而应用于PERC晶体硅电池制备中的管式等离子体镀膜机由于制备一体化、工艺成熟、成本低廉得到广泛应用。

硅片在镀背膜的工序中，由石墨舟承载并置于管式等离子体镀膜机内，石墨舟上的卡点卡住硅片，且石墨舟与硅片的正面相接触，由于要求硅片正面绒面不能有损伤，因此，石墨舟上的卡点不能卡死硅片，这就导致了在镀背膜后硅片正面四周边沿会出现背钝化膜，而使制备后的成品电池片正面出现绕镀现象，这不仅在很大程度上影响了电池片外观，而且降低了电池的光电转换效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够改善电池片外观、提高电池片光电转换效率的改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法。

本发明的目的通过如下的技术方案来实现：一种改善管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀的方法，其特征在于具体包括以下步骤：

S1：在硅片镀背面钝化膜的工序中，于硅片背面依次镀Al₂O₃膜、SiO₂膜和SiN_x膜，形成背面钝化膜，同时，在硅片正面边沿形成绕镀膜；

S2：在由步骤S1所得产品的背面钝化膜表面上制作水膜；

S3：使由步骤S2所得的产品通过HF/HCl槽，去除绕镀膜；

S4：使由步骤S3所得的产品通过水槽，去除残余药液；

S5：干燥由步骤S4所得的产品，即成。

本发明通过去除镀背面钝化膜的硅片正面四周所形成的绕镀钝化膜，改善了管式晶硅太阳能PERC电池正面绕镀现象，且背面钝化膜Al₂O₃/SiO₂/SiNx，与现有电池的背面钝化膜Al₂O₃/SiNx相比，在常规背面钝化膜Al₂O₃/SiNx之间增设了SiO₂膜，从而提高了水膜的亲水性，有利于去除硅片正面绕镀膜且保护背钝化膜不被气相侵蚀。由于本发明去除了硅片正面绕镀膜，也即去除了硅片正面的金属离子，避免了金属离子造成的复合，因此，不仅大大改善了电池的外观，而且提高了电池片的光电转换效率。

作为本发明的一种改进，在完成步骤S4后，使由步骤S4所得的产品通过盐酸槽，去除多余金属离子，再通过水槽，去除残余药液，转入步骤S5。去除硅片上多余的金属离子，可进一步提升电池的光电转换效率。

作为本发明的一种优选实施方式，所述SiO₂膜的厚度是2～10nm，提高钝化效果，并使其可在后一步骤中形成较好的水膜。