[发明专利]干涉仪离散变倍系统

说明书

本发明提出一种干涉仪离散变倍系统，包括：激光点光源；分光棱镜，分光棱镜设在激光点光源的下面；反射镜，反射镜设在分光棱镜的下面；第一准直镜，第一准直镜设在反射镜的右面；透射标准镜，透射标准镜设在第一准直镜的右面；旋转波轮组件，旋转波轮组件设在分光棱镜的右面，其中，旋转波轮组件上具有沿旋转波轮组件的周向均匀间隔布置的多个容纳孔，当旋转波轮组件转动到预定位置时，多个容纳孔中的一个在右面正对分光棱镜；与多个容纳孔一一对应的多个第二准直镜，每个第二准直镜设在对应的一个容纳孔中；CCD，CCD设在旋转波轮组件的右面且正对多个第二准直镜中的一个。根据本发明实施例的干涉仪离散变倍系统，光路稳定。

技术领域

本发明涉及一种干涉仪离散变倍系统。

背景技术

在使用大口径干涉仪检测小口径镜片时，在CCD(电荷耦合器件图像传感器)上形成的干涉图尺寸会很小，相应的所占用的CCD像素数会很少，不利于检测人员的观察判断及干涉图的数据分析。因此，需要有一套变倍成像系统将干涉图放大。

传统的方法，如图1所示，是在干涉仪光路中引入二级成像系统。图1中，1’为激光点光源；2’为分光棱镜；3’为反射镜；4’为第一准直镜；5’为透射标准镜；6’为待测样品；7’为旋转毛玻璃；8’为第二准直镜；9’为马达；10’为变倍镜头；11’为CCD。在干涉图接收面处放置旋转毛玻璃7’，作为二级成像系统的物面。在旋转毛玻璃7’后方放置变倍镜头10’，将干涉图以不同的倍率成像在CCD11’上。这种方法的不足有以下几点：1、二级成像系统的引入会降低总体成像的分辨率；2、干涉条纹在旋转毛玻璃上是一个类似朗伯表面的图像，因此在成像于CCD11’上时要产生渐晕，使图像的边缘与中心亮度差异较大；3、驱动旋转毛玻璃7’旋转的马达9’会在光路中引起震动，影响光路的稳定性。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种光路稳定的干涉仪离散变倍系统。

根据本发明实施例的干涉仪离散变倍系统，包括：

激光点光源；

分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；

反射镜，所述反射镜设在所述分光棱镜的下面；

第一准直镜，所述第一准直镜设在所述反射镜的右面；

透射标准镜，所述透射标准镜设在所述第一准直镜的右面；

旋转波轮组件，所述旋转波轮组件设在所述分光棱镜的右面，其中，所述旋转波轮组件上具有沿所述旋转波轮组件的周向均匀间隔布置的多个容纳孔，当所述旋转波轮组件转动到预定位置时，多个所述容纳孔中的一个在右面正对所述分光棱镜；

与多个所述容纳孔一一对应的多个第二准直镜，每个所述第二准直镜设在对应的一个所述容纳孔中；

CCD，所述CCD设在所述旋转波轮组件的右面且正对多个所述第二准直镜中的一个。

有利地，所述旋转波轮组件包括：

底座；

波轮，所述波轮可转动地设在所述底座上，其中，多个所述容纳孔沿所述波轮的周向均匀间隔布置。

有利地，每个所述第二准直镜的焦距均不同。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是相关技术中的干涉仪系统的示意图；

图2是根据本发明一个实施例的干涉仪离散变倍系统的示意图；