[发明专利]排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵

权利要求书

1.排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵，包括泵体、前壳体、后壳体、齿轮箱、主动转子、从动转子以及电机，前壳体通过定位法兰安装于泵体的进气侧，后壳体通过排气导板安装于泵体的排气侧，主、从动转子平行固定在安装于泵体内，主、从动转子的一端由圆柱滚子轴承支承于前壳体，另一端由双列角接触球轴承支承于后壳体的定位轴承座，齿轮箱通过定位轴承座与后壳体固定连接，齿轮箱内安装有同步斜齿轮副，所述同步斜齿轮副分别安装于主、从动转子上，电机经联轴器带动主动转子旋转，同步斜齿轮副带动从动转子做相对旋转，所述主、从动转子与泵体间由双唇密封圈密封，主、从动转子与齿轮箱间由机械密封密封，其特征在于：后壳体内设有氮气气流密封腔室，氮气气流密封腔室位于机械密封和双唇密封圈之间，氮气气流密封腔室由后壳体上的氮气接口通入正压氮气。

2.根据权利要求1所述的排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵，其特征在于：所述后壳体中设有两个氮气气流密封腔室，一个氮气气流密封腔室位于主动转子上的机械密封与双唇密封圈之间，另一个氮气气流密封腔室位于从动转子上的机械密封与双唇密封圈之间。

3.根据权利要求1或2所述的排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵，其特征在于：氮气气流密封腔室中的氮气气流压力比螺杆真空泵的排气压力高5-10KPa。

4.根据权利要求1所述的排气侧内置氮气密封的螺杆真空泵，其特征在于：所述氮气接口连接氮气保护管路，氮气保护管路由压力控制阀、压力计、电磁阀、流量计、止回阀串接组成。