[发明专利]一种锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201811155923.9 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109402567A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 栗西亮;李涛 | 申请（专利权）人： | 上海科比斯实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/34;H01M4/38;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 201500 上海市金山区金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅基合金薄膜 锂离子电池 预溅射 制备 金属靶材 硅靶材 溅射 惰性气体条件 电化学性能 靶材表面 硅基合金 溅射沉积 体积效应 挡板 结合力 均匀性 氧化物 污染物 保证 缓解 | ||
【权利要求书】：
1.一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，包括以下步骤：
在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属靶材的材质包括铝、铜、镍或锌。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述基片包括铜箔、铝箔、泡沫铜或泡沫镍。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，预溅射时，所述硅靶材的溅射功率为50～1000W，所述金属靶材的溅射功率为20～150W。
5.根据权利要求1或4所述的制备方法，其特征在于，所述预溅射的时间为1～30min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，溅射时，所述硅靶材的溅射功率为1000～3000W，所述金属靶材的溅射功率为100～1000W。
7.根据权利要求1或6所述的制备方法，其特征在于，所述溅射的时间为60～200min。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预溅射和溅射的偏电压独立地为50～600V。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预溅射和溅射的温度为80～200℃。
10.权利要求1～9任一项所述制备方法得到的锂离子电池硅基合金薄膜。
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