[发明专利]基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准装置及方法

说明书

本发明提供的一种基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准装置及方法，通过集成电路测试系统对数模转换器的测试过程实现集成电路测试系数字化仪的动态参数的校准，而无须在集成电路测试系统上编程对通道进行控制。集成电路测试系统通过对数模转换器的信噪比SNR或总谐波失真THD的测试，并将测量结果与数模转换器实际定值的信噪比SNR或者总谐波失真THD值进行对比，实现了对集成电路测试系统数字化仪驱动动态参数的校准。

技术领域

本发明涉及集成电路测试系统校准技术领域，具体涉及一种基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准装置及方法。

背景技术

集成电路测试系统一般具有数百或数千个统一控制但资源完全独立和冗余的测试通道，每个通道都有独立的数字化仪用于测试过程中测量芯片的输出电压和波形，对每个通道的数字化仪校准是保证测试系统测试结果准确的重要一环。

当前的校准方法为通过控制外部标准信号源输出信号到集成电路测试系统的各通道数字化仪，通过数字化仪的测量并保存结果，并将信号源设定驱动值和测量值进行比较实现单通道单点的校准。为了实现所有通道的不同量程进行校准，需要编程改变信号源输出以覆盖不同量程，并遍历所有通道实现对所有通道的校准。因此，遍历上千个通道并覆盖每个量程的不同校准点对校准工作和提出了巨大的挑战。由于基于数模转换器的的动态参数方式测试方法中单次测试即可通过自动的步进并驱动数模转换器输出覆盖数字化仪所有量程，因此是解决集成电路测试系统数千通道校准的有效方法。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准装置及方法，通过对数模转换器的测试过程自动的覆盖集成电路测试的数字化仪的测量量程，完成对数字化仪的校准。

为实现上述目的，本发明公开一种基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准装置，所述装置包括集成电路测试系统6和集成电路测试系统电连接的数模转换器2；

所述集成电路测试系统6包括数字化仪5和数字控制模块4，其中所述数字控制模块4通过第一测试线路1电连接数模转换器2，数模转换器2输出的模拟信号通过第二测试线路3电连接到数字化仪5。

在上述技术方案中，所述装置还包括固定于集成电路测试系统6上的系统测试端60，安装于测试端60上的测试电路板61，固定于测试电路板61上的测试夹具62。

在上述技术方案中，所述数模转换器2与测试夹具62连接。

在上述技术方案中，所述集成电路测试系统6还分为第一高精度集成电路测试系统与第二待校准集成电路测试系统。

本发明还公开一种基于数模转换器的集成电路测试系统自动校准方法，所述方法包括以下步骤：

S1、通过不同时间校准的第一高精度的集成电路测试系统对数模转换器进行重复测试，用于确保所述数模转换器有满足要求的稳定性，并记录数模转换器的第一信噪比和第一总谐波失真的第一测试结果和测试环境，所述第一测试结果为标称值；

S2、将数模转换器通过测试夹具连接到第二待校准的集成电路测试系统测试端，测试夹具和测试电路板满足数模转换器的性能指标要求，使得所述第二待校准的集成电路测试系统的测试环境与第一高精度集成电路测试系统的测试环境一致；

S3、在第二待校准的集成电路测试系统上编译数模转换器动态参数测试程序，所述程序用于测试数模转换器的信噪比和总谐波失真功能，运行程序进行测试，保存第二信噪比和第二总谐波失真的第二测试结果，所述第二测试结果为测量值；

S4、将数模转换器的测量值与标称值进行比较和计算，得到误差等于测量值等于减去标称值，通过比较测量值和标称值的大小即实现对第二待校准集成电路测试系统动态参数的校准；