[发明专利]一种掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201811151706.2 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109097730B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 罗程远 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制作方法 | ||
1.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：
将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；
将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合；
通过张网工艺将所述掩膜片固定在框架上；
将所述塑形模具与所述掩膜片分离，以形成所述掩膜板。
2.根据权利要求1所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述塑形模具包括阻隔柱；所述将塑形模具嵌入所述掩膜片的掩膜区域中包括：将所述阻隔柱嵌入所述掩膜片的掩膜区域中。
3.根据权利要求2所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述塑形模具还包括支撑部，所述阻隔柱凸出于所述支撑部；
所述将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合包括：在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层，以将所述掩膜片与所述阻隔柱进行粘合。
4.根据权利要求3所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，
在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层包括：将一侧表面覆有胶层的防粘膜贴覆在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧；
或者，在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层，以将所述掩膜片与所述阻隔柱进行粘合之后，所述掩膜板的制作方法还包括：在所述胶层背离所述掩膜片的一侧形成防粘膜。
5.根据权利要求3或4所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述胶层的材质为热分离胶，所述热分离胶会在预设温度下失效。
6.根据权利要求5所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述预设温度为60℃～100℃。
7.根据权利要求5所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述将所述塑形模具与所述掩膜片分离包括：将通过张网工艺固定在所述框架上的所述掩膜片加热至所述预设温度，使得所述热分离胶失效，以将所述塑形模具与所述掩膜片分离。
8.根据权利要求2或3所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述阻隔柱的厚度大于或者等于所述掩膜片的厚度。
9.根据权利要求2或3所述的掩膜板的制作方法，所述阻隔柱的表面由树脂类材料包覆。
10.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板利用如权利要求1-9任一项所述的掩膜板的制作方法制成。
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