[发明专利]一种降低单晶晶棒中的碳含量方法

权利要求书

1.一种降低单晶晶棒中的碳含量方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤一：在炉筒下端安装液面下方热场；

步骤二：通过吊料工序将8-150mm线性尺寸不等的料块共放置在石英坩埚内，其料块总重量为200-220kg，操作人员带一次性手套后从专用文件袋中拿出与该石英坩埚 所匹配规格的护料布，该护料布上一面均匀设有多根牵引线，各牵引线通过牵引线导向块连接在一起，该牵引线导向块上设置引拉线，并且引线导向块在护料布中心处，操作人员将护料布均匀铺开，没有设置牵引线一面将放置在坩埚 内的料块完全覆盖，石英坩埚 降至炉筒内的下限位，同时位于液面下方热场上端；

步骤三：安装液面上方热场，安装好后开始合炉筒；

步骤四：在炉筒合好后，将炉筒上沿及炉盖下沿用沾酒精高纯纸擦拭干，操作人员一手抓住牵引线导向块上的引拉线，且牵引线导向块不能超过液面上方热场中的空腔，一手向上提拉引拉线，使护料布收缩至小于液面上方热场中的导流筒下口大小，直接取出，并将护料布放置在装料小车上，继续合炉；

步骤五：合炉后，在车间指定位置，将护料布翻转使提出的石墨粉及其它 杂质抖落，然后使用吹风机将护料布整体吹拂干净，然后装入装料小车上专用文件袋中，连同吸盘一起运送至装料室。

2.根据权利要求1所述的降低单晶晶棒中的碳含量方法，其特点在于：所述步骤一中在炉筒下端安装液面下方热场，其具体安装步骤为：从下到上依次安装底毡—压板毡—石墨电极—下保温—底加热器—主加热器—主保温筒—托杆—埚托—埚帮—上保温支撑环。

3.根据权利要求1所述的降低单晶晶棒中的碳含量方法，其特点在于：所述护料布采用涤纶材质，其厚度为1-2mm。

4.根据权利要求1所述的降低单晶晶棒中的碳含量方法，其特点在于：所述步骤三中安装液面上方热场，其具体安装步骤为：从下至上依次安装热屏支撑换—导流筒—固毡大盖—固毡环。