[发明专利]一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201811148325.9 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN108873624A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈乃奇 | 申请（专利权）人： | 深圳市先地图像科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 上端 圆台 曝光成像装置 旋转扫描 极坐标 横梁 掩膜 底座 激光器 光刻 滑台 刻画 环形阵列分布 采集数据 曝光成像 匀速旋转 阵列分布 上端卡 掩膜版 侧边 对位 制作 扫描 图像 优化 环节 | ||
1.一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上端安装有安装圆台（2），安装圆台（2）上端设有环形阵列分布的晶圆（3），底座（1）上端安装有横梁（5），横梁（5）上安装有CCD（4），横梁（5）上端卡设有滑台（6），滑台（6）侧边设有阵列分布的激光器（7）。
2.根据权利要求1所述的一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，其特征在于，所述安装圆台（2）转动固定在底座（1）。
3.根据权利要求1所述的一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，其特征在于，所述底座（1）内部安装有电机，电机的输出轴固定在安装圆台（2）上。
4.根据权利要求3所述的一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，其特征在于，所述电机上外设有电源连接线和控制开关。
5.根据权利要求1所述的一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，其特征在于，所述晶圆（3）吸附在安装圆台（2）上。
6.根据权利要求1所述的一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，其特征在于，所述横梁（5）为U型。
7.根据权利要求1所述的一种无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置，其特征在于，所述CCD（4）设置有四个。
8.一种根据权利要求1-7任一所述的无掩膜极坐标旋转扫描曝光成像装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，在以角速度为θ匀速旋转的安装圆台（2）上放置待光刻的晶圆（3）；
步骤二，利用安装圆台（2）上端设有的定位用的CCD（4），完成对晶圆（3）的对位；
步骤三，在安装圆台（2）上方安装有沿安装圆台（2）径向匀速移动的激光器（7）；
步骤四，计算机软件解析图形文件，通过CCD（4）采集数据定位晶圆（3），控制安装圆台（2）的旋转和激光器（7），完成图像的刻画，即曝光成像。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市先地图像科技有限公司，未经深圳市先地图像科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811148325.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光刻方法和光刻系统
- 下一篇：一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置
