[发明专利]柔性显示基板及其制造方法、显示装置有效
| 申请号: | 201811142468.9 | 申请日: | 2018-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN109300947B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
| 发明(设计)人: | 张帅;李小龙;左岳平;陈善韬;孟秋华;刘明 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 显示 及其 制造 方法 显示装置 | ||
本发明提供了一种柔性显示基板及其制造方法、显示装置,该柔性显示基板包括:柔性的衬底基板;形成于衬底基板上的第一金属层;覆盖于第一金属层上的绝缘层,绝缘层上开设过孔;设置于绝缘层上的第二金属层;过孔包括第一端和第二端、及内侧壁;其中,在过孔的内侧壁及过孔的第一端的开口边缘区域覆盖有应力缓冲层,第二金属层覆盖于应力缓冲层上,并通过第二端的开口与第一金属层进行电连接。本发明通过在上、下两层金属层之间的绝缘层上设置过孔,并在过孔的内侧壁及过孔的开口边缘区域覆盖一层应力缓冲层,将上层金属层覆盖于该应力缓冲层,通过过孔与下层金属层电连接,有效的阻挡绝缘层应力集中的裂纹发展至金属层,改善弯折良率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示基板及其制造方法、显示装置。
背景技术
在追求显示产品更薄的整机结构时,OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)等柔性可弯折显示产品越来越多的进入市场。目前的柔性可弯折显示产品中,在金属层之间存在绝缘层(通常为无机绝缘层),通过绝缘层上的过孔来实现上下两层金属之间的电连接。金属层与绝缘层之间的这种叠构搭配,在弯折时,绝缘层断裂时,应力集中的裂纹会传递至金属层,而直接导致金属层的断裂,进而使显示产品造成不良产生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性显示基板及其制造方法、显示装置,能够改善现有技术中绝缘层弯折断裂时应力传递至金属层,而导致产品不良的问题。
本发明所提供的技术方案如下:
一方面,本发明实施例提供一种柔性显示基板,包括:
柔性的衬底基板;
形成于所述衬底基板之上的第一金属层;
覆盖于所述第一金属层之上的绝缘层,所述绝缘层上开设过孔;
设置于所述绝缘层之上的第二金属层;
所述过孔包括相对的第一端和第二端、及位于所述第一端和所述第二端之间的内侧壁,所述第二端位于所述绝缘层的靠近所述第一金属层的一侧面上,且所述第二端的开口暴露所述第一金属层,所述第一端位于所述绝缘层的靠近所述第二金属层的一侧面上;
其中,在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域覆盖有应力缓冲层,所述第二金属层覆盖于所述应力缓冲层上,并通过所述第二端的开口与所述第一金属层进行电连接。
进一步的,所述应力缓冲层为采用树脂材料制成的树脂层。
进一步的,所述树脂层所采用的树脂材料包括聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸酯、乙烯基醚和环氧树脂中的一种或多种。
进一步的,所述应力缓冲层的厚度为纳米级别。
进一步的,所述应力缓冲层的厚度为5~10nm。
进一步的,所述应力缓冲层为采用纳米压印方式在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域所形成的纳米压印缓冲层。
进一步的,所述应力缓冲层在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域处的层厚相同。
进一步的,所述柔性显示基板为形成有驱动电路层和OLED显示器件的OLED显示基板。
进一步的,所述柔性显示基板为触控显示基板,其包括:形成有驱动电路层和OLED显示器件的OLED显示基板;及,设置于所述OLED显示基板上的触控功能层。另一方面,本发明实施例提供一种显示装置,包括如上所述的柔性显示基板。
另一方面,本发明实施例提供一种柔性显示基板的制造方法,所述方法包括:
提供一柔性的衬底基板;
在所述衬底基板上形成第一金属层;
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H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





