[发明专利]真空镀膜机

说明书

本发明公开一种真空镀膜机，真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，镀膜筒体开设有容置腔，抽真空装置与镀膜筒体的容置腔相连通，裂解室连通于蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，连通管的首端与容置腔连通，连通管的末端与冷却装置连通，收集装置设于连通管位于镀膜筒体与冷却装置之间的部位上，收集装置还与连通管相连通。使得容置腔内不会积聚有过多的镀膜材料；同时，当镀膜材料从容置腔内被导出并且在连通管内运动的时候，在冷却装置的作用下会聚集并且沉积在收集装置处，便于操作人员后续的处理。

技术领域

本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。

背景技术

随着社会的迅速发展，为了提升工件的耐用程度，镀膜作为一种可在工件表面形成一层致密保护层的方式，其工艺也在不断地被改进。

众所周知，真空镀膜指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对物体更均匀地镀膜的方式，其使用也越来越频繁。

现有的真空镀膜主要是通过真空镀膜机来完成，真空镀膜机大致包括：镀膜筒体、裂解室、蒸发室以及抽真空装置四大部分组成。其中，镀膜筒体具有放置待镀工件的容置腔，蒸发室用于蒸发镀膜材料，裂解室用于裂解镀膜材料，抽真空装置用于将镀膜筒体内抽真空处理。故在真空镀膜机工作时，先由抽真空装置进行抽真空，使镀膜筒体、蒸发室及裂解室三者内部各处于真空状态，再通过蒸发室蒸发镀膜材料，蒸发后的镀膜材料进入到裂解室内，由裂解室将蒸发的镀膜材料进行裂解，而裂解后的镀膜材料再进入到镀膜筒体内，从而使镀膜筒体内的待镀工件的表面会附着有一层镀膜材料，实现镀膜的目的。

由于镀膜材料在经过蒸发以及裂解两个工艺之后进入镀膜筒体的容置腔内会四处扩散，因此镀膜筒体内壁四周均会覆盖有镀膜材料，在长久的积累下镀膜材料的积累会影响容置腔内的镀膜环境，因此，现有的真空镀膜机需要人为地频繁地进行的清理，而对镀膜筒体进行清洁的时候需要把镀膜筒体从真空镀膜机中拆卸下来，导致工作生产周期的延长；且在通过人为对镀膜筒体进行清理的过程中容易出现由于操作不当而导致镀膜筒体的内壁收到破损，进而使得真空镀膜机在工作过程中出现安全隐患。

因此，亟需一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可收集容置腔内剩余的镀膜材料的真空镀膜机。藉由该真空镀膜机可实现将容置腔内镀膜完成后剩余的镀膜材料通过连通管导出；并且在冷却装置的作用下，从连通管处导出的镀膜材料会积聚并且沉积在收集装置处以便于后续处理。

为了实现上述目的，本发明提供了一种真空镀膜机，所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室，所述镀膜筒体开设有容置腔，所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通，所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间，其特征在于：所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置，所述连通管的首端与所述容置腔连通，所述连通管的末端与所述冷却装置连通，所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上，所述收集装置还与所述连通管相连通。

具体地，所述真空镀膜机还包括安装于所述连通管上并位于所述镀膜筒体和所述收集装置之间的阀门。

更具体地，所述连通管包括相互对接连通的第一连通管和第二连通管，所述第一连通管的一端与所述容置腔连通，所述第一连通管的另一端与所述第二连通管的一端连通，所述第二连通管的另一端与所述冷却装置连通，所述收集装置设置于所述第一连通管的底部，所述阀门位于所述第一连通管上。

更进一步地，所述第一连通管呈H字形。

具体地，所述真空镀膜机还包括输送管，所述输送管依次与所述蒸发室、裂解室及镀膜筒体的容置腔连通。